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真空网膜涂层是溅射的一个强大的工业部门,涵盖了从封装应用到高科技显示和太阳能电池生产的光谱。雷竞技app下载官方版

该技术在生产力和最终用途适应性方面具有很大的优势。传统的聚合物基衬底材料如PET、PEN和聚酰亚胺现在已经扩展到柔性玻璃和金属条。

设计和制造用于真空腹板的溅射阴极需要一些特殊的考虑。Gencoa在这一领域积累了相当多的经验,并生产了广泛的设计从小的单阴极到非常大的双阴极活性气体系统和悬臂倾斜调整。

金科与OEM公司在这一领域有着密切的合作关系,金科的产品广泛应用于织网机:

  • Optix残余气体分析用于系统和过程监测和卷筒材料排气测量
  • 内部悬臂安装单和双平面磁控管与水冷阳极和氩或反应气体喷射
  • GRS-C悬臂式安装可旋转磁控管,可使用目标直径90、100、125和152mm OD
  • 具有磁导向的主动阳极提供更灵活的层(更低的应力),更好的工艺稳定性和减少腹板损伤
  • 线性离子源用于纤维网材料的预处理以提高质量
  • 用于高功率等离子体预处理的交流双管阴极磁控管
  • Speedflo用于反应气体控制,产量高,均匀性好
  • HS磁性设计用于溅射铁磁靶材料

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