网络层

真空网膜是溅射的一个强大的工业部门,涵盖了从包装应用到高科技显示和太阳能电池生产的光谱。雷竞技app下载官方版

该技术在生产效率和最终用途适应性方面具有很大的优势。传统的聚合物基基材如PET、PEN、聚酰亚胺等已扩展到柔性玻璃和金属条。

真空网用溅射阴极的设计和制造需要一些特殊的考虑。Gencoa在这个领域已经建立了相当多的经验,并生产了各种各样的设计,从小型单阴极到非常大的双阴极反应气体系统和悬臂倾斜调节。

Gencoa与OEM在这一领域有着密切的合作,并拥有广泛的产品,通常用于网络机器:

  • Optix剩余气体分析系统和过程监测和卷筒材料放气测量
  • 内部悬臂安装单和双平面磁控管与水冷阳极和氩气或反应性气体喷射
  • GRS-C悬臂式安装可旋转磁控管,可使用外径90,100,125和152mm的目标
  • 具有磁性引导的有源阳极提供更灵活的层(更低的应力),更好的工艺稳定性和减少腹板损伤
  • 线形离子源用于网布材料预处理,以提高质量
  • 磁控管和双管阴极交流型大功率等离子体预处理
  • Speedflo用于反应性气体控制,产生高速率和良好的均匀性
  • HS磁性设计用于溅射铁磁靶材

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