Vacgas-G16

Gencoa Vacgas -G16传感单元为感知第16组元素的工业方式提供了一种强大的手段。从真空处理的角度来看,第16组中的重要物种是氧,硫和硒。

传感方法使用氧化锆陶瓷(氧化锆-Lambda传感器),并基于一个称为Nernst细胞的固态电化学燃料电池。它的两个电极提供了相对于大气中真空中气体数量的输出电压。Vacgas-G16结合了对传感器温度的快速反馈控制与气体校正,以提供O2水平作为精确的部分压力。

基本技术用于汽车发动机,以采样氧气水平并确保有效燃烧。虽然Lambda传感器已经使用了多年来感知真空中的氧气,但信号的速度和准确性不如光学和质谱法。与差异泵送的RGA相比,Gencoa Vacgas-G16与RGA和光谱方法的气体输出相匹配(更少的噪声)。

与其他真空气体传感器相比,该信号精度与该方法的固有鲁棒性和低成本相结合。传感器头具有无限的寿命,控制效果可确保信号稳定性和准确性。传感器可以位于腔室壁上(标准kf40),也可以作为密封组件的一部分插入真空​​室中。没有敏感的电子设备,因此传感器不会失败。

Nernst单元的局限性意味着,对于巨大的气体变化,响应最终信号水平可能需要5秒钟,相比之下,差异泵送的RGA需要3秒钟。基于OPTIX的光学方法要快得多(请参见下文),根据积分时间为0.1至2秒。

Vacgas-G16:真空系统数据跟踪的关键补充

真空表提供了必不可少的系统信息,并且知道真空腔中的氧气水平还有其他多种用途:

  • 真空室和过程的基本健康 - 确定污染或问题
  • 每个过程周期的质量控制数据 - 跟踪产品和过程质量
  • 监视泵向下和系统过程准备就绪
  • 使用氧气信号调节进入腔室的O2的质量流控制
  • 快速反馈控制以提高沉积速率 - 将Vacgas-G16与SpeedFlo控制器组合在一起
  • 通过局部感应和调整过程区中的O2水平来控制统一性

潜在过程类型

  • 溅射,电子束和热真空涂层方法
  • 血浆和基于热的氧化 /表面处理
  • 涉及硫或硒气的太阳能电池制造
  • 氧化前,氧化后,氧气硝化期间的硝化植物
  • 在线氧气监测器与真空包装系统一起使用

规格

  • 显示24 x 32mm触摸屏
  • 热身时间,20分钟
  • 最大压力:1 MBAR
  • 最小测量压力:10 -7 MBAR
  • 氦泄漏率<10 -8 mbar l/s
  • 反应时间:5秒零至全尺度
  • 测量灵敏度:<5 ppm
  • KF法兰的温度:最大。185°C
  • 电源:24 V DC / 1.5 A
  • 机械连接:KF40真空范围 - 内部或外部具有可变连接电缆长度(标准为2m,请指定其他长度)
  • 输出:DB9连接器,RS 232通信(0-10V或部分压力(PA,MBAR或MTORR))

配件

  • 不同的KF或CF真空法兰尺寸
  • Speedflo反应性气体控制器(3和8通道)
  • 脉冲S和SE积液细胞

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