Vacgas-G16

GencoA VacGA-G16感测单元提供了一种自行稳健的手段,用于感测组16的元素 - 胆酸。来自真空处理的第16组中的重要物种是氧气,硫和硒。

传感方法使用氧化锆陶瓷(氧化锆 - λ传感器),并且基于称为内部核心细胞的固态电化学燃料电池。它的两个电极提供了与在大气中相对于真空中的气体量相对应的输出电压。VacGA-G16将传感器温度的快速反馈控制与气体校正相结合,以提供O2水平作为精确的部分压力。

基本技术用于汽车发动机以样氧水平并确保有效的燃烧。虽然λ传感器已被使用多年,但是在真空中检测氧气,信号的速度和准确性并不像光学和质谱法一样好。与差分泵浦的RGA(噪声较少)相比,GencoA VacGA-G16与RGA和光谱方法的气体输出匹配,具有更好的灵敏度(较小的噪声)。

与其他真空气体传感器相比,该信号精度与该方法的固有鲁棒性和低成本相结合。传感器头具有无限的寿命,控制确保了信号稳定性和精度。传感器可以位于腔室壁(作为标准的KF40)上,或作为密封组件的一部分插入真空​​室中。没有敏感的电子器件,因此传感器不会失败。

NERNST单元的局限性意味着对于大气变化,可能需要5秒钟才能响应最终的信号电平,这比差动泵浦RGA的3秒相比。基于Optix的光学方法比集成时间更快(见下文),0.1到2秒。

获取“岩石固体”数据,以跟踪真空过程中的氧气水平

VacGA-G16具有准确的响应来增加处理室内的氧气,如下所示。

在0-100的SCCM变化过程中的VacGAS-G16 O2气体测量到真空室中的氧气流量。请注意,由于背景气体,腔室中的O2将略高于输入值。

在0-100SCCM期间VacGAS-G16 O2气体测量在氧气流入真空室中的逐步变化。

Vacgas-G16:真空系统数据跟踪的关键补充

真空计提供基本系统信息,并知道真空室中的氧气水平有多个其他用途:

  • 真空室的基本健康和过程 - 识别污染或问题
  • 每个过程周期的质量控制数据 - 跟踪产品和工艺质量
  • 监控抽水和系统过程准备
  • 使用氧气信号调节O2进入腔室的质量流量控制
  • 快速反馈控制,增加沉积速率-结合VACGAS-G16与speedflo控制器
  • 通过局部传感和调整过程区中的O2水平来控制均匀性

潜在的过程类型

  • 溅射,电子束和热真空涂料方法
  • 等离子体和热基氧化/表面处理
  • 涉及硫或硒气体的太阳能电池制造
  • 氮化植物在预氧化过程中,氧化后,氧氮化
  • 用于真空包装系统的在线氧气监测器

规格

  • 显示24 x 32mm触摸屏
  • 热身时间,20分钟
  • 最大压力:1毫巴
  • 分钟。测量压力:10-7毫巴
  • 氦泄漏率<10 -8毫巴L / s
  • 反应时间:5秒零到满量程
  • 测量灵敏度:<5 ppm
  • KF法兰的温度:最大。185℃
  • 电源:24 V DC / 1.5 A.
  • 机械连接:KF40真空法兰 - 内部或外部可变连接电缆长度(2米为标准,请指定其他长度)
  • 输出:DB9连接器,RS 232通信(0-10V或部分压力(PA,MBAR或MTORR))

配件

  • 不同的KF或CF真空法兰尺寸
  • SpeedFlo反应气体控制器(3和8通道)
  • 脉冲s和se活性细胞

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产品手册

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