VACGAS-G16

Gencoa VACGAS-G16传感单元提供了工业上强大的手段来检测16组元素- Chalcogens。从真空处理的角度来看,第16组中的重要物种是氧、硫和硒。

这种传感方法使用氧化锆陶瓷(氧化锆- lambda传感器),基于一种叫做能斯特电池的固态电化学燃料电池。它的两个电极提供的输出电压与真空中相对于大气中的气体量相对应。VACGAS-G16结合了传感器温度的快速反馈控制和气体校正,以提供O2水平作为精确的分压。

这一基本技术用于汽车发动机的氧气水平取样,以确保有效燃烧。虽然Lambda传感器已经被用来在真空中检测氧很多年了,但信号的速度和精度还没有光学和质谱方法那么好。GENCOA VACGAS-G16匹配来自RGA和光谱方法的气体输出,与差分泵送的RGA相比(噪音更小)具有更好的灵敏度。

与其他真空气体传感器相比,这种信号精度与该方法固有的鲁棒性和低成本相结合。传感器头具有无限的寿命,控制保证了信号的稳定性和准确性。传感器可以安装在真空室壁上(标准的KF40),或者作为密封组件的一部分插入真空室。没有敏感的电子器件,因此传感器不会失效。

由于Nernst Cell的局限性,对于较大的气体变化,需要5秒才能对最终信号水平做出响应,而差泵RGA需要3秒。基于OPTIX的光学方法要快得多(见下),0.1到2秒取决于集成时间。

获取“坚如磐石”的数据来跟踪真空过程中的氧气水平

如下图所示,VACGAS-G16对工艺室中氧气的增加有准确的响应。

真空室氧气流量在0-100 sccm变化期间的氧气测量。请注意,由于背景气体的原因,气室中的氧气会略高于输入值。

在0-100 sccm逐步变化的氧气流进真空室期间的氧气测量。

VACGAS-G16:真空系统数据跟踪的关键补充

真空计提供重要的系统信息,了解真空室的氧气水平,还有其他多种用途:

  • 真空室和工艺的基本健康状况-识别污染或问题
  • 每个过程周期的质量控制数据-跟踪产品和过程的质量
  • 监控泵送和系统过程的准备情况
  • 利用氧气信号调节氧气进入腔室的质量流量控制
  • 快速反馈控制,提高沉积速率-结合VACGAS-G16和speedflo控制器
  • 通过局部传感和工艺区O2水平的调整来控制均匀性

潜在过程类型

  • 溅射、电子束和热真空镀膜方法
  • 等离子体和热基氧化/表面处理
  • 太阳能电池制造涉及硫或硒气体
  • 氮化装置在预氧化、后氧化、氧化氮化过程中
  • 与真空包装系统一起使用的在线氧气监测仪

规范

  • 显示24 × 32mm触摸屏
  • 热身时间,20分钟
  • 最大压力:1mbar
  • 最小测量压力:10 -7 mbar
  • 氦泄漏率< 10 - 8mbar l/s
  • 反应时间:5秒从零到满量程
  • 测量灵敏度:<5 ppm
  • KF法兰温度:最高。185°C
  • 电源:24v DC / 1.5 A
  • 机械连接:KF40真空法兰-内外连接电缆长度可变(标准2m,其他长度请注明)
  • 输出:DB9连接器,RS 232通信(0-10V或分压(Pa, mbar或mTorr))

配件

  • 不同的KF或CF真空法兰尺寸
  • Speedflo反应性气体控制器(3和8通道)
  • 脉冲S和Se积液细胞

伴生气敏产品

Optix多气体等离子体传感器及终点检测

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