技术论文

Gencoa制作了细节产品信息和行业技术的技术论文,以帮助您从您的过程中获得更多信息。

2018年5月:化学传感的Optix
真空和大气中的真正气体感应,RGA无法去。[下载PDF.]

2018年3月:Gencoa Active Anodes
等离子体电子磁引导。[下载PDF.]

2015年12月:ITO流程的GRS
使用可旋转磁控管用于低损坏ITO层。[下载PDF.]

2014年7月:FFE300均匀性调整
晶圆金属化期间的均匀性调整。[下载PDF.]

2014年1月:Gencoa可旋转系统
引进新的超紧凑型可旋转磁控管。[下载PDF.]

2013年12月:FFE75圆形磁控管
通过动态等离子体扫描缺陷薄膜的减少。[下载PDF.]

2013年11月:IMC75圆形离子源
适用于各种基于R&D的应用,Gencoa的新型3英寸的3英寸圆形离子源在离子源市场中达到了新的灵活性。[下载PDF.]

2013年9月:脉冲阀饼干积液细胞
利用脉冲阀流量细胞的脉冲相化合物的精确和动态控制,纳米4Energy和GencoA的关节开发。[下载PDF.]

2013年7月:系统几何调整
系统几何的调整如何导致改善均匀性[下载PDF.]

2013年6月:控制反应溅射过程
无反应气体控制如何提供更稳定的溅射过程[下载PDF.]

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