技术论文

Gencoa已经制作了详细的产品信息和行业技术的技术论文,以帮助您从您的过程中获得更多。

2018年5月:Optix for Chemical Sensing
真正的气体传感在真空和大气中,RGAs不能去。(下载]

2018年3月:Gencoa活性阳极
等离子体电子的磁引导。(下载]

2015年12月:ITO工艺的GRS
可旋转磁控管用于低损伤ITO层。(下载]

2014年7月:FFE300均匀性调优
晶圆金属化时均匀度调整。(下载]

2014年1月:Gencoa可旋转系统
介绍一种新型超紧凑型可旋转磁控管。(下载]

2013年12月:FFE75环形磁控管
动态等离子体扫描薄膜缺陷的减少。(下载]

2013年11月:IMC75圆形离子源
Gencoa的新型3英寸圆形离子源可适应广泛的研发应用,在离子源市场上达到了新的灵活性水平。(下载]

2013年9月:脉冲阀裂解液细胞
Nano4Energy和Gencoa联合开发的脉冲阀液腔精确动态控制气相化合物。(下载]

2013年7月:系统几何调整
如何通过调整系统几何形状来提高均匀性[下载]

2013年6月:反应溅射工艺控制
反应性气体控制如何提供更稳定的溅射过程[下载]

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