Speedflo配置

有两个版本的基本单元和广泛选择的传感器选项可用,Speedflo可以配置为完美地适合许多工业流程。

硬件选项

Speedflo控制器有两种选择,以适应不同的要求:Speedflo,它有8个传感器输入和8个MFC执行器输出;Speedflo Mini有2个传感器输入和3个MFC执行器输出。

这两个控制器有相同的算法和控制软件,但在可用的输入和输出的数量不同。两个控制器都有以太网连接,以便与软件接口直接通信。

传感器的选择

Speedflo配备了许多传感器选项,可在广泛的配置。

等离子体发射监测(P.E.M)
等离子体发出的可见光通过发射光谱包含了所有存在物种的信息。为了监测等离子体中任何元素的强度,可以使用一个窄带通滤波器,只允许感兴趣的材料或气体的光的波长通过。

P.E.M CCD
等离子体光可以被ccd型光谱仪捕获,它提供了整个过程的通用图像。为了控制的目的,感兴趣的波长是电子过滤和输入到控制器。这种类型的工具可以提供更多的信息,但是与传统的带通P.E.M方法相比,光谱仪的积分时间降低了反馈速度。

远程p.e.m. (Penning p.e.m.)
Gencoa的Penning P.E.M传感器能够远程监测等离子体发射水平,如果传统P.E.M传感器存在衬底干扰问题,则是理想的选择。在彭宁测量头中远程产生一个小等离子体。传统的P.E.M传感器可以用来测量感兴趣波长的光强度。这代表了这个过程中多余的气体。

λ
Lambda传感器是一种氧气探头,提供真空中氧气浓度的直接信号。Gencoa Lambda传感器提供稳健的信号和良好的响应速度。像P.E.M一样,它可以提供目标长度下的多个监测区域的信息。

目标电压
该过程中一个方便的传感器是磁控管电源输出的目标电压。这可以用于一些材料组合作为独立的信号或附加的二次信号,如P.E.M.成功的这类传感器材料是硅和铝氧化物和氮化物。

HiPIMS
Gencoa开发了传感器技术,能够对活性HiPIMS过程雷竞技app下载官方版进行控制,以实现可重复沉积和稳定的系统性能。

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