speedflo配置

使用两种版本的基本单元和可用的广泛选择传感器选项,SpeedFlo可以配置为完全适合许多工业过程。

硬件选项

SpeedFlo控制器有两个选项可适合不同的要求:SpeedFlo,其具有8个传感器输入和8个MFC执行器输出;和SpeedFlo Mini,具有2个传感器输入和3个MFC执行器输出。

这两个控制器具有相同的算法和控制软件,但在可用输入和输出的数量方面有所不同。两个控制器都具有以太网连接,可与软件接口进行直接通信。

传感器选项

SpeedFlo附带了许多传感器选项,可在各种配置中提供。

等离子体排放监测(P.E.M)
来自等离子体的可见光包含通过光发射光谱存在的所有物种的信息。为了监视等离子体中的任何元件的强度,窄带通滤光器可用于仅允许仅通过物质或感兴趣的气体的光的波长。

P.E.M CCD.
等离子体光可以通过CCD型光谱仪捕获,该光谱仪提供了该过程的通用图片。为了控制目的,感兴趣的波长被电子地滤波并输入控制器。这种类型的工具提供更多信息,然而,与传统的带式P.E.M方法相比,光谱仪的积分时间减慢了反馈速度。

远程P.E.M(Pening P.E.M)
Gencoa的Penning P.E.M传感器可以远程监测等离子体发射水平,并且如果基板干扰与传统的P.E.M传感器有问题。在捏造表格中远程产生小等离子体。然后可以使用传统的P.E.M传感器来测量感兴趣波长的光强度。这代表了该过程的过量气体。

lambda.
Lambda传感器是氧气探针,其提供真空中存在的氧浓度的直接信号。Gencoa Lambda传感器提供具有良好响应速度的强大信号。像P.E.M一样,它可以从多个监控区域提供目标长度的信息。

目标电压
从该过程的方便传感器是磁控管电源的目标电压输出。这可以用于一些材料组合作为独立信号,或者除诸如P.E.M的次级信号之外。这种类型的传感器的成功材料是硅和氧化铝和氮化物。

Hipims.
Gencoa开发了传感器技术,可以控制可重复沉积和稳定的雷竞技app下载官方版系统性能的反应性HIPIMS工艺。

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