Speedflo

Speedflo是一种先进的反应反馈控制系统,可改善沉积速度、涂层性能和工艺可靠性,从而完善您的反应工艺。Speedflo是根据实际工艺需求而设计的,并已在数百种不同的工业等离子体沉积机上得到验证——每种设备的需求都不同。

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有两种选择-提供8通道Speedflo,或3通道Speedflo Mini - Speedflo具有灵活性,有利于广泛的反应工艺,从磁控溅射到PECVD沉积。

Speedflo调音

使用Speedflo实现系统的高性能控制是一个快速和简单的过程。专利的,最先进的自动控制器调整程序,为您的过程中单击一个按钮提供最佳的控制器参数。自动调整过程是快速和有效的-和工作在任何系统或传感器配置。

在执行集成的系统校准和识别程序后,自动调谐器立即为您的过程生成最优的控制器参数,使用先进的逆动力学算法来分析收集的数据。

整个过程需要几分钟,非常适合实际过程的需求。

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Gencoa可以提供远程或现场协助,以帮助优化您的流程,并在英国、美国、德国、中国和台湾提供本地支持。支持水平和工艺专业知识补充了Gencoa完整的反应气体和过程控制装置,包括磁控管、气体棒和控制器。

传感器

Speedflo和Speedflo Mini都可以从可供选择的传感器中组合配置传感器选项:
•目标电压(可选HIPIMS)
原位PEM(可选HIPIMS)
•光谱仪(Speedflo Mini不提供)
•PEM原位(Penning)
•仅为O²

Speedflo模拟器

使用提供Speedflo系统动态模拟的工具复制Speedflo用户界面。得益于Gencoa对过程控制的深入理解,该软件模拟Speedflo特性的影响,如控制器增益和校准参数,以及系统特性,如输气管道长度。

模拟器是一个非常有效的工具,可以提高系统用户对反馈控制的理解,以及Speedflo系统的操作。

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