Speedflo

使用SpeedFlo完善您的反应性过程,SpeedFlo是一种先进的反应反馈控制系统,可改善沉积速率,涂料属性和过程可靠性。SpeedFlo围绕实际过程的需求而设计,并已在数百种不同的基于工业等离子体的沉积机上得到证明,每种都有不同的需求。

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提供两个选项 - 提供8个用于SpeedFlo的通道选择,或Speedflo Mini的3个通道 - SpeedFlo具有灵活性,可以使从Magnetron溅射到PECVD沉积的广泛反应过程受益。

Speedflo自动调节

使用SpeedFlo,实现系统的高性能控制是一个快速简便的过程。通过单击按钮,获得专利的最先进的自动控制器调整过程为您的过程提供了最佳的控制器参数。自动调整过程是快速有效的 - 在任何系统或传感器配置中都可以使用。

执行集成的系统校准和识别过程后,自动调节器通过使用先进的逆动力学算法来分析收集的数据,从而为您的过程立即生成最佳控制器参数。

整个过程需要几分钟,非常适合实际过程的需求。

支持与技术雷竞技app下载官方版

Gencoa可以提供远程或现场援助,以帮助优化您的流程,并在英国,美国,德国,中国和台湾提供本地支持。支持和过程专有技术的水平补充了Gencoa的完整反应性气体和过程控制设置,包括磁控棒,燃气棒和控制器。

传感器

Speedflo和Speedflo Mini可以通过选择可用传感器的选择组合,将传感器选项组合在一起:
•目标电压(HIPIMS选项可用)
•PEM原位(HIPIMS选项可用)
•光谱仪(不适用于Speedflo Mini)
•PEM EX-SITU(笔)
•lambda仅用于O²

Speedflo模拟器

使用提供SpeedFlo系统动态模拟的工具来复制Speedflo用户界面。该软件受益于Gencoa对过程控制的深入了解,除了系统特性(例如气体输送管长)之外,该软件还模拟了SpeedFlo功能(例如控制器增益和校准参数)的效果。

模拟器是一种非常有效的工具,可以改善系统用户对反馈控制的理解以及SpeedFlo系统的操作。

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