单一的矩形

Gencoa平面矩形磁控管结合了低的拥有成本,稳健的设计和高度优化的磁性,生产出高性能的可靠产品。我们的矩形磁控管应用于几乎所有类型的工业涂料应用,包括半导体、建筑玻璃和显示涂料。

采用“零高度”阳极的独特设计,防止工艺过程中的短路,减少涂层中的灰尘和缺陷。所有来源包括后法兰板冷却作为标准和附加阳极水冷却是可选的。

根据应用,Gencoa可以配置单独的阴极,以满足特定的工艺要求和限制。还提供OEM专有的磁控管设计和制造服务,阴极CAD尺寸数据可以使用Gencoa的2D和3D格式下载图生成器(需要注册)。

磁学

高收益(重)范围达到40%的目标利用率,建议用于需要增加机器正常运行时间或降低材料成本的应用。

用金属处理(MZ)范围是专为高速率金属化的腹板,汽车零件和装饰应用。采用特殊设计的厚型靶材和高水流,MZ范围可使机器的正常运行时间提高100%。

伟易达集团(vt)Range专门用于离子辅助沉积过程,其中等离子体对生长膜的影响程度可以通过原位改变磁场自动改变。

铁磁(HS)和(Loop)溅射选项高达6mm镍和2mm铁(HS)磁性或定制磁安排,以适应铁磁材料在Gencoa (Loop)磁性。

高均匀性(胡)用于优化磁场均匀性的磁性要求高的应用。这超出了Gencoa标准磁场扫描和QC,可以提供优于1% (TBC)的磁场均匀性

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