单矩形

Gencoa平面矩形磁控棒结合了低所有权,健壮的设计和高度优化的磁化剂,以生产可靠的产品,可提供高性能。我们的矩形磁控管几乎都用于每种类型的工业涂料应用中,包括半导体,建筑玻璃和显示涂层。

融合“零高”阳极的独特设计可在过程中防止短路,并减少涂料中的灰尘和缺陷。所有来源均包含后法兰板冷却作为标准配置,而其他阳极水冷却都是可选的。

根据应用程序,Gencoa可以配置单个阴极以满足特定的过程要求和限制。还提供了OEM专有的磁控管设计和制造服务,并且可以使用Gencoa's以2D和3D格式下载阴极CAD CAD尺寸数据图形生成器(需要注册)。

主要特征

  • 选择优化的磁化功能
  • RF标准电绝缘
  • 两个水输入/输出,以增强流量和目标冷却
  • 零高阳极防止短裤和弧形
  • 具有水冷却或纬向气体注入的积分阳极

磁学

高产(HY)范围可实现40%的目标利用,并建议使用增加机器正常时间或减少材料成本的应用。

金属霜(MZ)范围是为网络,汽车零件和装饰应用的高速金属化设计的。使用专门设计的厚厚的构造目标和高水流,MZ范围可以将机器的正常运时增加100%。

vtech(vter)范围专用于离子辅助沉积过程,在该过程中,血浆对生长膜的影响的程度可以通过磁场的原位更改自动变化。

铁磁(HS)(循环)(hs)磁性或自定义磁性布置的最多6mm镍和2毫米铁的溅射选项,适合Gencoa(Loop)磁力的铁磁材料。

高均匀性(HU)用于优化的磁场均匀性的磁化物。这超出了Gencoa标准磁场扫描和QC,并且可以提供比1%更好的磁场均匀性(TBC)

画廊

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相关应用程序

接下来的活动

  • 2022年8月21日至26日-IOP CMD-29
  • 2022年9月11日至16日-22届国际真空大会
  • 2022年9月11日至14日- 第13届国际热等局紧迫会议
  • 2022年9月12日至15日- 等离子体表面工程
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