单一的矩形

Gencoa平面矩形磁控管结合了低拥有成本,稳健的设计和高度优化的磁性,以生产高性能可靠的产品。我们的矩形磁控管应用于几乎所有类型的工业涂料应用,包括半导体,建筑玻璃和显示涂料。

采用“零高度”阳极的独特设计,可防止工艺过程中的短路,减少涂层中的灰尘和缺陷。所有源包括后法兰板冷却作为标准和附加阳极水冷却可选。

根据不同的应用,Gencoa可以配置单个阴极以满足特定的工艺要求和限制。还提供OEM专有的磁控管设计和制造服务,阴极CAD尺寸数据可以下载2D和3D格式使用Gencoa图生成器(需要注册)。

磁学

高收益(重)该范围达到40%的目标利用率,并推荐用于需要增加机器正常运行时间或降低材料成本的应用。

用金属处理(MZ)Range是专为高速率金属化的腹板,汽车零件和装饰应用。采用特殊设计的厚型靶和高水流,MZ范围可使机器正常运行时间提高100%。

伟易达集团(vt)Range专门用于离子辅助沉积过程,其中等离子体对生长膜的影响程度可以通过磁场的原位变化自动改变。

铁磁(HS)和(环)溅射选项高达6mm镍和2mm铁的(HS)磁性或定制的磁性安排,以适应在Gencoa(环)磁性铁磁材料。

高均匀性(胡)磁学优化磁场均匀性要求苛刻的应用。这超出了Gencoa标准磁场扫描和QC,可以提供优于1% (TBC)的磁场均匀性

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即将来临的事件

  • 2021年6月9日IOP等离子体表面和薄膜会议2021年
  • 2021年6月14 - 18- HIPIMS 2021
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