单一的矩形

Gencoa平面矩形磁控管结合了低拥有成本,稳健的设计和高度优化的磁性,生产出可靠的产品提供高性能。我们的矩形磁控管被用于几乎所有类型的工业涂料应用,包括半导体,建筑玻璃和显示涂料。

采用“零高度”阳极的独特设计,可防止工艺过程中的短路,并减少涂层中的灰尘和缺陷。所有的源采用后法兰板冷却作为标准,额外的阳极水冷却是可选的。

根据应用,Gencoa可以配置单独的阴极,以满足特定的工艺要求和限制。此外,Gencoa还提供OEM专有的磁控管设计和制造服务,阴极CAD尺寸数据可以使用Gencoa的2D和3D格式下载图生成器(需要注册)。

关键特性

  • 稳健的选择优化磁
  • 射频标准电绝缘
  • 两个水输入/输出,增强流量和目标冷却
  • 零高度阳极,防止短路和电弧
  • 整体阳极,可选择水冷或分区注气

磁学

高收益(重)范围达到40%的目标利用率,推荐用于需要增加机器运行时间或减少材料成本的应用。

用金属处理(MZ)范围是专为高速金属化的蜘蛛网,汽车零件和装饰应用。采用特殊设计的厚剖面目标和高流量,MZ范围可以将机器的正常运行时间增加100%。

伟易达集团(vt)Range专注于离子辅助沉积过程,在这种过程中,等离子体对生长膜的影响程度可以通过磁场的原位变化自动改变。

铁磁(HS)和(环)溅射选项高达6mm镍和2mm铁通过(HS)磁铁或定制磁安排,以适应Gencoa(环)磁铁中的铁磁性材料。

高均匀性(胡)磁性优化磁场均匀性要求苛刻的应用。这超出了Gencoa标准的磁场扫描和QC,可以提供优于1%的磁场均匀性(TBC)

画廊

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即将来临的事件

  • 2022年2月17日- NCCAVS 2022年度装备展览会
  • 2022年4月30日至5月5日——SVC Techcon 2022
  • 2022年6月29 - 30日-先进材料展
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