半导体

半导体是使用PVD技术最大,最长的行业。雷竞技app下载官方版

在其成立时,该行业使用蒸发技术形成了层,但由于其固有的可控性,迅速采用了基于溅射的解决方案。该行业传统上使用了“集群工具”或“内联”方法。这两种方法仍被广泛使用,仅通过在涂层(群集工具)中是静态的,还是在涂层期间(在线)上移动磁控棒。

集群工具解决方案广泛,市场上有50多个商业产品。

Gencoa的圆形磁控管为半导体市场提供了很好的选择。

  • 3G圆形磁控杆的占地面积很小,并且具有±45°角度调节,可以轻松设置簇工具
  • 任何可用的晶圆尺寸的圆形FFE,最多600mm目标直径
    • 12英寸的8英寸晶片,均匀度为1-3%
    • 高目标适用于宝贵的目标材料
    • 高均匀性,目标底物分离小
    • 反应性sio2,al2O3,犯罪过程可以溅射
  • Speedflo反应流动控制器,用于完美控制的反应性过程
  • OPTIX进行流程优化,减少时间缩短时间,过程知识

如果您对半导体市场的特定流程有更多疑问,请与我们的专家联系,我们将为您的概念和涂层找到最佳解决方案。

相关产品

接下来的活动

  • 2022年8月21日至26日-IOP CMD-29
  • 2022年9月11日至16日-22届国际真空大会
  • 2022年9月11日至14日- 第13届国际热等局紧迫会议
  • 2022年9月12日至15日- 等离子体表面工程
  • 查看完整列表>