半导体

半导体是使用PVD技术的最大和最长的工业部门。雷竞技app下载官方版

在成立之初,该行业使用蒸发技术形成层,但由于其固有的可控性,很快采用了基于溅射的解决方案。该行业传统上使用“集群工具”或“内联”方法。这两种方法仍被广泛使用,它们的区别仅在于晶圆在涂覆过程中是静止的(集群工具),还是在涂覆过程中经过磁控管(在线)。

集群工具解决方案种类繁多,市场上有50多种商业产品。

Gencoa的圆形磁控管为半导体市场提供了非常好的选择。

  • 3G圆形磁控管占地面积小,角度调整为±45°,集群工具可以轻松设置
  • 圆形FFE适用于任何晶圆尺寸,目标直径可达600mm
    • 8英寸晶圆的12英寸FFE,均匀度为1-3%
    • 高目标用途是贵重目标材料的完美选择
    • 高均匀性和小目标-基板分离
    • 反应性SiO2、Al2O3、SiN工艺可以溅射
  • 完美控制反应过程的Speedflo反应流量控制器
  • Optix用于流程优化、减少停泵时间、流程知识

如果您对半导体市场的具体工艺有更多疑问,请联系我们的专家,我们将为您的概念和硅片涂层找到最佳解决方案。

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