改造磁学

在某些情况下,不需要或不希望更换一个完整的磁控管阴极,Gencoa可以提供一个替代磁系统,以适应现有的阴极体。这是一种提高现有系统性能的经济有效的方法。

在几乎所有的情况下,都有可能适合我们标准的平衡(SW)或不平衡(PP)磁性系统。在70%的情况下,它是可能适合我们的高产量(HY)型磁铁。

更换磁铁的可能原因包括:

  • 有缺陷的磁铁
    • 水中磁铁的腐蚀(非常常见)
    • 磁体过热和消磁
  • 提高目标利用率
  • 提高低压/电压或磁性材料溅射时的磁场强度
  • 改善圆形和矩形涂层的均匀性
  • 通过不平衡磁场来增强等离子体的反应性和能量
  • 通过避免闭合磁场与系统阳极的相互作用来减少电弧
  • 达到更清洁的目标,特别是在反应溅射中

联系(电子邮件保护)通过您当前阴极和所需磁铁的详细信息,讨论平面磁控管改造的可用选项。

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