矩形vtflex.

通过无限制灵活地调整溅射层的均匀性,Gencoa VTF是vTech产品的最新补充,可轻松且精确的薄膜均匀性调整。

Gencoa的VTFlex磁控管具有能够在等离子体赛道的两侧的小段上独立地调谐磁场强度。不同的段由手动数字定位器调整,该手动数字定位器增加或降低了局部区域中的场强。可以在任一方向上缩回或倾斜区段,这允许赛道上的场强的平滑或“尖锐”的变化。

调节场强的能力将导致等离子体密度的变化,因此溅射到基板上的材料的量。由于强度的可能变化宽,VTF磁控管可用于校正在线系统的末端或作为独立源以提供比标准更好的均匀性的均匀性。

总灵活性允许通过相对易于实现均匀性小于1%。还可以在过程中进行调整,以便在均匀性随时间校正均匀。

VTF磁控管特别有用,其中需要大面积RF溅射工艺的高均匀性。更常见的DC和MF型功率模式可以进行似然,以实现某些产品所需的更高均匀性。

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