电源
IM300和IM3000为GENCOA IM类型线性和圆形等离子体源提供了完整的解决方案。操作源所需的所有功能都是内置的。
唯一的用户动作是连接高压电缆和质量流控制器。
必要的控制顺序和电源传递由IM300和IM3000控制器执行。
该设备配备了现代的，基于IGBT的谐振转换器，并使用微控制器子系统处理整体操作。
这两个单元均可提供〜2.8kV的打击电压和2.5A短路电流。
最大输出电源为500W @2500V输出电压，用于IM300和4000W @2000V输出电压。对于IM3000
内置软件可以驱动外部质量流控制器，以预设值以预设源电压（以及横梁能量）。IM300和IM3000的功能使等离子源的设置，操作和调节非常直接。
规格
| IM3000 | IM300 | |
| 单元 | 架子19“ 4胡 | 1/2架19英寸3 hu |
| 主要的 | 400 VAC 3 pH | 240或110 VAC，内部带开关选择器 |
| 电压打击 | 3 kvolt阳性 | 3 kvolt阳性 |
| 标称电压 | 2500 V/4 kW | 2500 V/500瓦 |
| 短路电流 | 2 a | 300 MA |
| 调节模式 | 电流（5 MA分辨率） | 电流（分辨率为0.5 MA） |
| 输出连接器 | Fisher HV女性mod 105 | BNC SHV女性 |
| MFC | 2个通道模拟0/5 VDC | 2个通道模拟0/5 VDC |
| 展示 | 触摸屏240 x 128像素 | 触摸屏240 x 128像素 |
| 互锁/遥控 | 9针D类型 | 9针D类型 |
| 232卢比 | 9针D类型 | 9针D类型 |
| 调节模式 | 内部固体气流或气体反馈（固定电压），外部RS 232或模拟用户端口 | 内部恒定气流或气体反馈（恒定电压）通过外部RS 232或模拟用户端口 |
