电源

iM300和iM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供了完整的解决方案。操作该源所需的所有功能都是内置的。

用户的唯一操作是连接高压电缆和质量流量控制器。

必要的控制顺序和电源输送由iM300和iM3000控制器执行。

该装置配备了基于IGBT的现代谐振变换器,整个操作由微控制器子系统处理。

两个装置均可提供~2.8kV的冲击电压和2.5A的短路电流。

iM300在2500V输出电压下的最大输出功率为500W,iM3000在2000V输出电压下的最大输出功率为4000W

内置软件可驱动外部质量流量控制器将源电压(以及束流能量)保持在预设值。iM300和iM3000的功能使等离子体源的设置、操作和调节非常简单。

规格

iM3000 iM300
单位 机架19“4 HU 1/2机架19“3 HU
主要 400VAC 3 Ph 240或110伏交流电压,内置开关选择器
电压冲击 3千伏正极 3千伏正极
标称电压 2500伏/4千瓦 2500伏/500瓦
短路电流 2A 300毫安
调节模式 电流(5 mA分辨率) 电流(0.5 mA分辨率)
输出连接器 FISHER HV女性mod 105 BNC SHV女性
MFC 2通道模拟0/5 VDC 2通道模拟0/5 VDC
展示 触摸屏240 x 128像素 触摸屏240 x 128像素
联锁/远程 9针D型 9针D型
RS 232 9针D型 9针D型
调节模式 通过外部RS 232或模拟用户端口的内部costant气体流量或气体反馈(costant电压) 通过外部RS 232或模拟用户端口的内部恒定气体流量或气体反馈(恒定电压)

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产品手册

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