电力供应
iM300和iM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供了完整的解决方案。所有操作源代码所需的函数都是内置的。
用户唯一的动作是连接高压电缆和质量流量控制器。
iM300和iM3000控制器执行必要的控制顺序和电源输送。
该装置配备了一个现代化的、基于IGBT的谐振变换器，并由一个微控制器子系统处理总体操作。
两套机组均能提供约2.8kV的冲击电压和2.5A的短路电流。
iM300最大输出功率为500W @2500V输出电压，4000W @2000V输出电压。为iM3000
内置的软件可以驱动外部质量流量控制器，使源电压(以及束能量)保持在预设值。iM300和iM3000的特点使等离子体源的设置、操作和调节非常直接。
规范
| iM3000 | iM300 | |
| 单位 | 机架19 " 4胡 | 1/2机架19" 3胡 |
| 主要 | 400 VAC 3 Ph值 | 240或110 VAC与开关选择内 |
| 电压罢工 | 3 Kvolt积极 | 3 KVolt积极 |
| 额定电压 | 2500 V / 4千瓦 | 2500 V / 500瓦特 |
| 短路电流 | 2 | 300毫安 |
| 监管模式 | 电流(5ma分辨率) | 电流(0.5 mA分辨率) |
| 输出连接器 | FISHER HV母模105 | BNC SHV女 |
| MFC | 2通道模拟0/5 VDC | 2通道模拟0/5 VDC |
| 显示 | 触摸屏240 x 128像素 | 触摸屏240 x 128像素 |
| 联锁/远程 | 9引脚D型 | 9引脚D型 |
| RS 232 | 9引脚D型 | 9引脚D型 |
| 监管模式 | 内部恒定气体流量，或气体反馈(恒定电压)，通过外部rs232或模拟用户端口 | 内部恒定气体流量，或气体反馈(恒定电压)，通过外部rs232或模拟用户端口 |
