电力供应

iM300和iM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供了完整的解决方案。操作源所需的所有函数都是内置的。

用户的唯一行动是连接高压电缆和质量流量控制器。

所需的控制顺序和供电由iM300和iM3000控制器完成。

该单元配备了一个现代的、基于IGBT的谐振变换器,整个操作由一个微控制器子系统处理。

两个机组均可提供~2.8kV冲击电压和2.5A短路电流。

iM300和4000W @2000V输出电压的最大输出功率为500W @2500V输出电压。为iM3000

内置的软件可以驱动外部质量流量控制器,以保持源电压(以及束流能量)在预设值。iM300和iM3000的特性使得等离子体源的设置、运行和调节非常简单。

规范

iM3000 iM300
单位 机架19“4胡 1/2机架19“3胡
主要 400 VAC 3 Ph 240或110 VAC,内置开关选择器
电压罢工 3 Kvolt积极 3 KVolt积极
额定电压 2500 V / 4千瓦 2500 V / 500瓦特
短路电流 2 300毫安
监管模式 电流(5 mA分辨率) 电流(0.5 mA分辨率)
输出连接器 FISHER HV女mod 105 BNC SHV女
MFC 2路模拟0/5 VDC 2路模拟0/5 VDC
显示 触摸屏240 x 128像素 触摸屏240 x 128像素
联锁/远程 9脚D型 9脚D型
RS 232 9脚D型 9脚D型
监管模式 内部恒定气体流量,或气体反馈(恒定电压),通过外部RS 232或模拟用户端口 内部恒定气体流量,或气体反馈(恒压),通过外部RS 232或模拟用户端口

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