电力供应
iM300和iM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供了完整的解决方案。操作源所需的所有函数都是内置的。
用户的唯一行动是连接高压电缆和质量流量控制器。
所需的控制顺序和供电由iM300和iM3000控制器完成。
该单元配备了一个现代的、基于IGBT的谐振变换器，整个操作由一个微控制器子系统处理。
两个机组均可提供~2.8kV冲击电压和2.5A短路电流。
iM300和4000W @2000V输出电压的最大输出功率为500W @2500V输出电压。为iM3000
内置的软件可以驱动外部质量流量控制器，以保持源电压(以及束流能量)在预设值。iM300和iM3000的特性使得等离子体源的设置、运行和调节非常简单。
规范
| iM3000 | iM300 | |
| 单位 | 机架19“4胡 | 1/2机架19“3胡 |
| 主要 | 400 VAC 3 Ph | 240或110 VAC，内置开关选择器 |
| 电压罢工 | 3 Kvolt积极 | 3 KVolt积极 |
| 额定电压 | 2500 V / 4千瓦 | 2500 V / 500瓦特 |
| 短路电流 | 2 | 300毫安 |
| 监管模式 | 电流(5 mA分辨率) | 电流(0.5 mA分辨率) |
| 输出连接器 | FISHER HV女mod 105 | BNC SHV女 |
| MFC | 2路模拟0/5 VDC | 2路模拟0/5 VDC |
| 显示 | 触摸屏240 x 128像素 | 触摸屏240 x 128像素 |
| 联锁/远程 | 9脚D型 | 9脚D型 |
| RS 232 | 9脚D型 | 9脚D型 |
| 监管模式 | 内部恒定气体流量，或气体反馈(恒定电压)，通过外部RS 232或模拟用户端口 | 内部恒定气体流量，或气体反馈(恒压)，通过外部RS 232或模拟用户端口 |
