电源
iM300和iM3000为Gencoa IM型线性和圆形等离子体源提供了完整的解决方案。操作该源所需的所有功能都是内置的。
用户的唯一操作是连接高压电缆和质量流量控制器。
必要的控制顺序和电源输送由iM300和iM3000控制器执行。
该装置配备了基于IGBT的现代谐振变换器，整个操作由微控制器子系统处理。
两个装置均可提供~2.8kV的冲击电压和2.5A的短路电流。
iM300在2500V输出电压下的最大输出功率为500W，iM3000在2000V输出电压下的最大输出功率为4000W
内置软件可驱动外部质量流量控制器将源电压（以及束流能量）保持在预设值。iM300和iM3000的功能使等离子体源的设置、操作和调节非常简单。
规格
| iM3000 | iM300 | |
| 单位 | 机架19“4 HU | 1/2机架19“3 HU |
| 主要 | 400VAC 3 Ph | 240或110伏交流电压，内置开关选择器 |
| 电压冲击 | 3千伏正极 | 3千伏正极 |
| 标称电压 | 2500伏/4千瓦 | 2500伏/500瓦 |
| 短路电流 | 2A | 300毫安 |
| 调节模式 | 电流（5 mA分辨率） | 电流（0.5 mA分辨率） |
| 输出连接器 | FISHER HV女性mod 105 | BNC SHV女性 |
| MFC | 2通道模拟0/5 VDC | 2通道模拟0/5 VDC |
| 展示 | 触摸屏240 x 128像素 | 触摸屏240 x 128像素 |
| 联锁/远程 | 9针D型 | 9针D型 |
| RS 232 | 9针D型 | 9针D型 |
| 调节模式 | 通过外部RS 232或模拟用户端口的内部costant气体流量或气体反馈（costant电压） | 通过外部RS 232或模拟用户端口的内部恒定气体流量或气体反馈（恒定电压） |
