Optix

Optix是一种多功能仪器,用于在任何真空环境中快速感测,通过各种操作压力运行,以适应大多数工业真空生产过程,除非大气采样,否则无需任何差分抽水系统。

Optix通过光学窗口与化学物质分离,使用远程等离子体光谱概念,该概念在传感器头内产生小等离子体。内置光谱仪分析了等离子体,自动解释光谱,以对真空中气体的存在和浓度进行定性测量。

Optix光谱信息和复杂的后端软件为广泛的应用创建了一系列用途,包括涉及碳氢化合物,溶剂和长链聚合物的污染过程。

在传感CVD和ALD类型过程的情况下,对设备进行了微小的更改,以防止血浆头污染。通过一个小的粗泵,也可以从大气中传感,以将气体带入传感器。

Optix非常便携,很容易在不同的真空系统之间切换或在小盒子中手工接送到客户站点。它还提供了超高灵敏度单气体选项,可用于专用泄漏检测。

操作压力范围比较,Gencoa Optix和RGA

应用/流程

•ALD
•CVD
•蚀刻
• 热处理
•泄漏检测
•MOCVD
•OLED
•血浆喷涂
•工艺气体分析
•PVD

压力制度优势

•宽压力范围,直接在大多数过程压力下运行
•不需要昂贵/复杂的差分泵
•没有差分泵系统的虚假读数
•没有细丝和低维护
•具有专用版本的ALD和CVD工艺的化学耐受性
•自动校准总压力读数
•直接监视真空,立即注册任何更改(m/sec响应)
•明显比RGA和差速器组合便宜得多

界面

高级Windows用户界面可清楚地可视化流程和真空的状况,以及用于记录和引用数据的强大工具,可以轻松识别流程问题。

可以在同时波长上监视多达20个气体,并使用触发/警报输出设置的过程气体跟踪。

完整的,可调的光谱视图(200-850nm)提供了对敏感性调整的集成时间的控制,并且来自气体自动识别数据库的自动气峰检测作品可以进行调整,以结合特定感兴趣的其他峰值。

软件功能

•用于原子和分子发射特征的内置频谱数据库
•自动频谱解释
•自动或用户定义的物种的时间图
•可自定义的触发设置用于终点检测或过程控制
•全面的数据记录和数据参考功能
•真空质量跟踪器
•泄漏检测模式

视频演示文稿中详细介绍了有关Optix软件中包含的功能的更多信息实时等离子体分析软件工具

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