Optix

Optix是一款高度可靠和灵敏的多用途仪器,可用于任何真空环境下的气体传感,通过广泛的操作压力来满足所有工业真空生产过程,无需差压泵送。

Optix使用了一个远程等离子光谱概念,在传感器头部产生一个小的等离子体,然后由其内置的光谱仪进行分析。光谱自动解释,提供定量测量存在和浓度的气体在真空中表示为相关气体的分压。由于等离子体光探测器位于真空之外,因此几乎不可能破坏仪器。

Optix可以产生等离子体,并在较宽的压力范围内感知气体,而不需要差压泵送系统。它自动开关和关闭0.5 mbar,并提供准确的压力和气体信息,至10-6 mbar。

Optix光谱信息和复杂的后端软件在一个易于使用和多功能的界面中为所有真空用户创造了一系列的用途:宽量程压力测量;泄漏检测;真空质量监控;泵送过程分析;气体和分子分析;状态监测和故障检测;快速过程反馈和流量控制;端点检测;气体流量校正和成分比率。

在传感CVD和ALD型工艺的情况下,对设备进行了小的改变,以防止等离子头的污染。通过一个小的粗糙泵将气体引入传感器,也可以从大气中进行传感。

Optix非常便携,很容易在不同的真空系统之间切换,或在一个小盒子里手持到客户现场。它还提供了超高灵敏度的单一气体选择专用泄漏检测。

应用程序/流程

•“肾上腺脑白质退化症”
•化学汽相淀积
•腐蚀
•热处理
•泄漏检测
•金属
•OLED
•等离子喷涂
•工艺气体分析
•周围性血管疾病

压力制度优势

•直接在最常见的真空工艺压力下操作
•无需昂贵/复杂的差动泵
没有来自差压泵系统的虚假读数
•直接监测真空瞬间记录任何变化(m/秒响应)
•显著低于RGA和差动泵组合

接口

一个先进的Windows用户界面提供了过程和真空状态的清晰可视化,以及用于记录和引用数据的强大工具,使过程问题易于识别。

软件功能

•内置光谱数据库的原子和分子发射签名
•自动频谱解释
•用于自动或用户定义物种的时间图
•可自定义触发设置,用于端点检测或过程控制
•全面的数据记录和数据参考能力
•真空质量跟踪器
•泄漏检测模式

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