Optix

Optix是一种多用途仪器,可在任何真空环境中进行快速气体传感,可通过广泛的操作压力来满足大多数工业真空生产过程,除非大气采样,否则不需要差压泵送系统。

Optix通过一个光学窗口与化学物质分离,使用远程等离子体光谱概念,在传感器头部产生一个小的等离子体。内置的光谱仪分析等离子体,自动解释光谱,以提供真空中气体存在和浓度的定性测量。

Optix光谱信息和复杂的后端软件可用于各种应用,包括涉及碳氢化合物、溶剂和长链聚合物的污染过程。

在感应CVD和ALD类型工艺的情况下,对设备进行了小的改变,以防止等离子头的污染。用一个小的粗糙的泵将气体引入传感器也可以从大气中进行传感。

Optix非常便携,可以在不同的真空系统之间轻松切换,也可以用一个小盒子携带到客户现场。它还提供了一种超高灵敏度的单气体泄漏检测方案。

操作压力范围比较,Gencoa Optix和RGA

应用程序/流程

•“肾上腺脑白质退化症”
•化学汽相淀积
•腐蚀
•热处理
•泄漏检测
•金属
•OLED
•等离子喷涂
•工艺气体分析
•周围性血管疾病

压力制度优势

•压力范围宽,可直接在大多数工艺压力下工作
•不需要昂贵/复杂的差压泵
•差压泵系统无虚假读数
•无灯丝,维护费用低
对ALD和CVD工艺的专用版本具有化学兼容性
•自动校准总压力读数
•直接监控真空,立即记录任何变化(m/sec响应)
与RGA和差压泵组合相比,成本显著降低

接口

一个高级的Windows用户界面提供了清晰的流程和真空状态的可视化显示,以及用于记录和引用数据的强大工具,可以很容易地识别流程问题。

多达20种气体可以监测在同时的波长,与过程气体跟踪,可以设置与触发/报警输出。

一个完整的,可调的光谱视图(200-850nm)提供了对灵敏度调整的集成时间的控制,自动气体峰值检测工作从气体自动识别数据库,可以调整,以纳入特定兴趣的额外峰值。

软件功能

•内置的光谱数据库的原子和分子发射特征
•自动频谱判读
•自动或用户定义物种的时间图
•可定制的触发器设置,用于端点检测或过程控制
•全面的数据记录和数据引用能力
•真空质量跟踪器
•检漏模式

画廊