Optix

Optix是一款高可靠性、高灵敏度、多用途的仪器,适用于任何真空环境下的气体传感,可通过各种操作压力来满足所有工业真空生产过程,而不需要差速泵送。

Optix使用远程等离子光谱概念,在传感器头部产生一个小等离子体,然后由其内置的光谱仪进行分析。自动解释的光谱提供定量测量的存在和浓度的气体在真空中表示为相关气体的分压。由于等离子体光探测器位于真空之外,几乎不可能损坏仪器。

Optix无需差压泵送系统就能产生等离子体并在宽压力范围内感知气体。它在0.5 mbar时自动开关,并提供精确的压力和气体信息,最低可达10-6 mbar。

Optix光谱信息和复杂的后端软件在一个易于使用和多功能界面内为所有真空用户创建了一系列用途:宽范围压力测量;泄漏检测;真空质量监控;泵送过程分析;气体和分子分析;状态监测和故障检测;快速工艺反馈和流量控制;端点检测;气体流量校准和成分比。

在感应CVD和ALD型工艺的情况下,为了防止等离子体头污染,对设备进行了小的改变。用一个小的粗泵将气体引入传感器,也可以从大气中进行传感。

Optix非常便携,可以在不同的真空系统之间轻松切换,也可以用一个小盒子携带到客户现场。它还提供了一个超高灵敏度的单一气体选择专用泄漏检测。

应用程序/流程

•“肾上腺脑白质退化症”
•化学汽相淀积
•腐蚀
•热处理
•泄漏检测
•金属
•OLED
•等离子喷涂
•工艺气体分析
•周围性血管疾病

压力制度优势

•在最常见的真空工艺压力下直接操作
•不需要昂贵的/复杂的差动泵
•从差压泵系统中没有虚假读数
•直接监测真空,立即记录任何变化(m/sec响应)
•明显低于RGA和差动泵组合

接口

先进的Windows用户界面提供了流程和真空状态的清晰可视化,以及用于记录和引用数据的强大工具,可以轻松识别流程问题。

软件功能

•内置光谱数据库,用于原子和分子发射信号
•自动谱解释
•自动或用户定义物种的时间图
•可定制的触发设置端点检测或过程控制
•全面的数据记录和数据引用能力
•真空质量跟踪器
•检漏方式

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