活性氧等离子体源

Gencoa的高功率气体等离子体源是一种用于前处理和自由基辅助溅射的新解决方案,与传统射频和微波驱动的气体源相比,它具有关键的优点。

该气源为基片处理提供了高电流密度,并且可以在不存在任何功率缩放问题的情况下组装气源长度可达4米。

在氧气和磁场的存在下,电力在两个水冷电极之间转换。所产生的等离子体使氧气离子电离,并为中和提供电子簇,以避免电荷在基片上积聚。

双电极从正极切换到负极,并提供稳定和高度均匀的等离子体。

防护罩是水冷的,用于低温处理,并且源运行时没有涂层或碎片,因此无需清洗。

关键特性

- 0.2米到4m的源长度,没有功率或缩放问题
-每米长度可达40安培的等离子体电极电流
- 70 eV能量的高活化气体
-增加气体动能,帮助层氧化和预清洗
-纯气体等离子体-电极无腐蚀
——没有维护
-自中和开关等离子体电位,提供正负轰击
-成本低于射频和微波等离子体产生设备

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