活性氧血浆源

Gencoa的高功率气体等离子体来源是用于治疗和激进辅助溅射的新解决方案,可为传统的RF和微波炉动力源提供关键好处。

气源提供底物处理的高电流密度,并且可以以高达4M的源长度组装而没有任何功率缩放问题。

在氧气和一个磁场的存在下,在两个水冷电极之间切换功率。所得的血浆使氧气物种电离,还提供了一种用于中和的电子淋浴,以避免底物上的电荷积聚。

双电极从正向到负,并提供稳定且高度均匀的等离子体。

盾牌是水冷却以进行低温加工的,并且来源在没有涂层或碎屑的情况下运行,因此消除了清洁的任何要求。

主要特征

-0.2m至4m的源长度,没有电源或缩放问题
- 每米长度最多40安培的等离子体电极电流
- 具有70 eV能量的高度活化气体物种
- 添加气体的动能以帮助层氧化和预洗
- 纯气体血浆 - 无电极蚀刻
- 没有维护
- 自我中和开关等离子体电位产生正面和负面轰炸
- 比RF和微波血浆生成设备较低的成本

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