活性氧等离子体源

Gencoa的高功率气体等离子体源是一种用于预处理和自由基辅助溅射的新解决方案,与传统的射频和微波供能气源相比,它具有关键的优势。

该气体源可为基片处理提供高电流密度,并可在不存在任何功率缩放问题的情况下组装源长度高达4米。

在氧气和磁场存在下,电源在两个水冷电极之间切换。所产生的等离子体电离氧气,也提供了一个中和的电子簇,以避免电荷在基材上积聚。

双电极从正极切换到负极,并提供稳定且高度均匀的等离子体。

屏蔽是水冷的低温处理,和源运行没有涂层或碎片,因此消除了任何清洁要求。

关键特性

- 0.2米到4米的源长度,没有功率或缩放问题
-高达40安培的等离子体电极电流每米长度
-具有70 eV能量的高活化气体物种
-增加气体动能,帮助层氧化和预清洗
-纯气体等离子体-没有刻蚀电极
——没有维护
-自中和开关等离子体电位提供正和负轰击
-比射频和微波等离子体产生设备成本低

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