线性离子源

Gencoa线性离子源的长度为200-4700mm,并提供了一种可靠的方法,可以在薄膜沉积之前修改或预先清洁大面积聚合物和玻璃基板。

基于倒数磁铁原理,GencoA线性离子源产生了准直的等离子体束,可轻轻蚀刻底物,燃烧碳氢化合物并激活表面以促进沉积膜的粘附。

与常规技术不同,Gencoa的离子源与石雷竞技app下载官方版墨阳极和阴极组装在一起,保护基板免受污染和防止源的侵蚀。这些来源是间接冷却的,最大程度地减少了源的维护。

典型的操作涉及使用直流电源,以及其他电源模式(例如脉冲DC)也适合使用。

为了优化来源的性能,Gencoa开发了具有积分气流控制的专用电压调节电源。气体调节反馈环控制始终保持相同的电流 - 确保光束输出没有变化。

Gencoa的线性离子源可以配备各种安装选项,并且可以与相关的IM3000电源

主要特征

  • 优化的磁场以在标准溅射压力下生产准直血束
  • 气体的自动化调节,以保持恒定电流和电压 - 多气自动控制
  • 石墨阳极和阴极保护底物免受污染并提供长寿成分
  • RF所有离子源的标准电绝缘材料
  • 阳极和阴极的直接冷却 - 零件快速切换
  • 轻松切换阴极零件以提供多个磁陷阱,以用于较低的电压操作或聚焦光束
  • 电压调节的电源和气体调节反馈始终保持相同的电流

画廊

下载

相关应用程序

联系Gencoa

要在我们的利物浦总部与Gencoa联系,请单击联系方式

有关国际代表的详细信息,请参阅我们的清单全球联系