线性离子源

Gencoa线性离子源的长度为200-4700mm,可以在薄膜沉积之前对大面积聚合物和玻璃基板进行修改或预清洗。

基于反向磁控管原理,Gencoa线性离子源产生一束准直等离子体,轻轻蚀刻基底,燃烧碳氢化合物并激活表面以促进沉积薄膜的粘附。

与传统技术不同的是,Gencoa的离子源雷竞技app下载官方版与石墨阳极和阴极组装在一起,保护衬底不受污染,防止离子源的侵蚀。这些电源是间接冷却的,最大限度地减少了电源的维护。

一个典型的操作涉及使用直流电源,其他电源模式-如脉冲直流-也适用。

为了优化电源的性能,Gencoa开发了一种专用的电压调节电源,具有集成气体流量控制。气体调节反馈回路控制保持相同的电流在任何时候-确保没有变化的光束输出。

Gencoa的线性离子源可与多种安装选项组装,并可与相关订购IM3000电源

关键特性

  • 优化磁场,在标准溅射压力下产生准直等离子体束流
  • 气体自动调节,保持恒流恒压,多种气体自动控制
  • 石墨阳极和阴极保护衬底免受污染,并提供长寿命的组件
  • 所有离子源的射频标准电绝缘
  • 阳极和阴极的间接冷却。零件的快速切换
  • 阴极部件易于切换,提供多个低电压操作磁阱,或聚焦光束
  • 带气体调节反馈的稳压电源,在任何时候保持相同的电流

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Gencoa的主要设施位于南利物浦。点击方向>