硬涂层

自20世纪90年代中期以来,Gencoa一直在开发用于工具涂层的工艺和磁控管,我们员工的丰富经验使Gencoa能够为硬涂层应用提供最佳的解决方案。

Gencoa在硬质涂层领域的产品和服务包括:

  • 带有VTR和有源阳极的GRS-V可旋转磁控管
  • 高能不平衡平面磁控管阴极(PP型)
  • VT和VTR可变磁控管
  • Speedflo反应气体过程控制器
  • Optix真空气体监测仪
  • 完整的室磁模型优化电离水平
  • 流程和现场执行
  • 成功反应过程的抽气和气体计算

为了提供一个优化的硬或装饰涂层单元,各种各样的元素需要仔细理解和正确设计。有两个选择:从一个成熟的制造商购买一个完整的交钥匙设施,或者购买关键部件并以正确的方式集成。如果采用组件路线,则需要实施工艺程序,以创造工具附着力、硬度和韧性的平衡。Gencoa可以提供并组合这些组件的所有元素,以确保获得成功解决方案的最大机会。

反应气控制是溅射硬涂层成功的关键。Speedflo装置提供高速气体控制,以优化速率,并能在涂层过程中改变设定值。这提供了高度的稳定性和高速率的过程。预先编程的程序可被加载到Speedflo单元,可以创建分层结构的分级性质。另一个基本要素是为致密涂层结构提供足够的电离,而不需要过高的衬底偏压(过高的偏压会导致脆性涂层)。Gencoa有设计机械几何形状的经验,可以创建正确的工艺环境。没有必要的电离水平,一个成功的层结构将很难创造。

反应性气体反馈控制的通常方法是收集来自等离子体的光信号,作为金属与反应性气体平衡的指示,这种方法被称为等离子体发射监测(PEM)。Gencoa现在开发了Speedflo单元,可以直接从目标电压控制典型的硬涂层工艺。这种非常理想的解决方案避免了位于工艺室内或工艺室内的光纤的成本和不便。

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