GRS-V

GRS-V是Gencoa公司生产的一款垂直安装的可旋转磁控管,是Gencoa可旋转系统产品系列的最新产品。该GRS-V具有高功率容量和水流,优异的端块真空完整性,并具有排水功能,便于在腔内更换目标。

其独特的设计解决了高容量应用中可靠的溅射过程交付的关键问题。GRS-V端块和磁阵列的设计目的是降低装饰和功能涂层环境的拥有成本。

GRS-V是一种专门设计的垂直信号源,包含了电机或手动调整赛道角度位置的关键特性。GRS-V适用于显示式或静态玻璃涂布机,也适用于装饰、硬涂层和高功率金属化塑料件的批量涂布机。

优势

  • 可以使用可变靶径吗
  • 双密封目标安装和双螺钉目标夹紧
  • 快速释放磁铁棒室内目标改变
  • 目标与腔室板之间的距离可变(请在订货时注明)
  • 高水流和功率输送
  • 市场领先的真空密封完整性-优于5x10-8mbar l/s He旋转下的泄漏率和> 3年的动态密封寿命保证
  • 易于维护
  • 能否与Gencoa气体棒,有源阳极,Optix和Speedflo一起使用
  • 用于预清洗目标反向的阵列角度定位
  • 垂直向下方向不需要向外支撑
  • 利用Gencoa为不同生产需求设计的高性能磁铁:
    • XPP反应离子辅助沉积极不平衡(硬涂层)
    • PP不平衡磁体,用于塑料装饰涂层
    • HS高强度用于ITO、磁性靶及大功率金属化
    • DLIMAA,双低阻抗磁有源阳极高密度,低应力层
    • Gencoa可以为不同的电源模式和应用提供完整的系统磁布局,可选现场工艺安装

关键特性

  • 可达3米长目标
  • 端口安装在腔室外部
  • 可容纳Ø90, Ø100, Ø125和Ø152毫米目标
  • 3 / 4”ID水连接用于高流量
  • 目标旋转直接驱动,无张紧皮带
  • 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
  • 大电流Harting电源连接
  • 手动或电动阵列定位用于多个基板位置或目标清洗
  • 运行速度高达15RPM

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