GRS-V:可旋转的磁控管

GRS-V是Gencoa垂直安装的可旋转磁控管,这是Gencoa可旋转系统产品范围的最新成员。GRS-V具有高功率和水流,出色的端盖真空完整性,并具有排水功能,可在腔室内易于改变目标。

它的独特设计介绍了可靠的溅射过程交付的高量应用程序的关键点。GRS-V端块和磁阵列旨在降低装饰和功能性涂料环境的所有权。

GRS-V是设计垂直源的目的,包含电动机或手动调整赛道角位置的关键特征。GRS-V针对带有在线或静态玻璃的展示涂装器,还针对装饰和硬涂层的涂料器,以及塑料零件的高功率金属化。

优点

  • 可以使用不同的目标直径
  • 目标安装和双螺钉目标夹具的双密封
  • 快速释放磁铁栏,用于更改内目标
  • 可变目标到室板距离(请按顺序指定)
  • 高水流和动力输送
  • 真空密封的市场领先完整性 - 优于5x10-8mbar l/s旋转和> 3年动态密封寿命保证的泄漏率
  • 易于维护
  • 可以与Gencoa气棒,活动阳极,Optix和Speedflo一起使用
  • 阵列角度定位,用于相反方向的预洗靶标
  • 无需垂直下方的离线支撑
  • 利用Gencoa为不同生产需求而设计的高性能磁铁:
    • XPP极度不平衡反应性离子辅助沉积(硬涂层)
    • PP塑料装饰涂层的不平衡磁力
    • HS高强度ITO,磁目标和高功率金属化
    • dlimaa,具有高密度的活性阳极的双低阻抗磁化剂,较低的应力层
    • GENCOA可以为不同的电源模式和应用提供完整的系统磁性布局,并使用可选的现场工艺安装

主要特征

  • 最多3m长的目标
  • 端口在外部安装到室
  • Ø90,Ø100,Ø125和Ø152毫米目标的住宿
  • ¾“高流量的ID水连接
  • 直接驱动目标旋转 - 无张紧皮带
  • 具有RS-485接口和可能集成的DC电动机驱动器
  • 高电流Harting功率连接
  • 多个底物位置或目标清洁的手动或电动阵列定位
  • 运行速度至15rpm

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接下来的活动

  • 2022年9月11日至16日-22届国际真空大会
  • 2022年9月11日至14日- 第13届国际热等局紧迫会议
  • 2022年9月12日至15日- 等离子体表面工程
  • 2022年9月20日至23日-GlasSTEC 2022
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