GRS-M.

GRS-M产品是一个高容量的“掉入”可旋转磁控管,用于目标直径为152mm,垂直或水平取向的目标长度高达2m。

虽然能够容纳高目标载荷,但由于GencoA获得专利旋转驱动系统,GRS-M所需的空间减少。为了充分利用紧凑的性质,因此GRS-M是理想的垂直显示器涂层器或水平的在线涂层系统。

当与有源阳极结合时,产生更高的速率和质量氧化物和ITO层。

好处

  • 双密封件用于目标安装和双螺钉目标固定
  • 独特的专利驱动系统提供紧凑且高容量的端块设计
  • 高水流(60升/分钟)
  • 市场领先的真空密封完整性 - 优于5x10-8MBAR L / S他在旋转下泄漏
  • 采用Gencoa的高性能磁性,包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁铁杆支撑管
  • 可以在双配置中纳入有源阳极,以获得更高的密度,低缺陷和低应力层
  • 独特的密封设计可用于可靠操作,将其与其他竞争对手相结合
  • 密闭空间的高均匀性,距离封端的外边缘107mm到赛道
  • 可以与Gencoa气体棒,活性阳极,optix和speedflo一起使用

主要特征

  • 最多2M长的目标,取决于重量和取向,取决于重量
  • 法兰安装在腔室开口中
  • Ø152mm的住宿目标
  • 1“ID快速释放水连接以获得高流量
  • 直流电机驱动器,具有RS-485接口和可能的PLC集成
  • 电源连接:通过HARTING通过7/16或AC / DC进行DC
  • 运营速度高达15rpm
  • 单个或双单元可安装在单个法兰板上
  • 可提供有源阳极,多区气体输送杆和驱动/水监测可用的齐全的组件

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