GRS-M.
GRS-M产品是一个高容量的“掉入”可旋转磁控管，用于目标直径为152mm，垂直或水平取向的目标长度高达2m。
虽然能够容纳高目标载荷，但由于GencoA获得专利旋转驱动系统，GRS-M所需的空间减少。为了充分利用紧凑的性质，因此GRS-M是理想的垂直显示器涂层器或水平的在线涂层系统。
当与有源阳极结合时，产生更高的速率和质量氧化物和ITO层。
好处
- 双密封件用于目标安装和双螺钉目标固定
- 独特的专利驱动系统提供紧凑且高容量的端块设计
- 高水流（60升/分钟）
- 市场领先的真空密封完整性 - 优于5x10-8MBAR L / S他在旋转下泄漏
- 采用Gencoa的高性能磁性，包括平衡，不平衡，高强度和DLIM选项
- 低偏转磁铁杆支撑管
- 可以在双配置中纳入有源阳极，以获得更高的密度，低缺陷和低应力层
- 独特的密封设计可用于可靠操作，将其与其他竞争对手相结合
- 密闭空间的高均匀性，距离封端的外边缘107mm到赛道
- 可以与Gencoa气体棒，活性阳极，optix和speedflo一起使用
主要特点
- 最多2M长的目标，取决于重量和取向，取决于重量
- 法兰安装在腔室开口中
- Ø152mm的住宿目标
- 1“ID快速释放水连接以获得高流量
- 直流电机驱动器，具有RS-485接口和可能的PLC集成
- 电源连接：通过HARTING通过7/16或AC / DC进行DC
- 运营速度高达15rpm
- 单个或双单元可安装在单个法兰板上
- 可提供有源阳极，多区气体输送杆和驱动/水监测可用的齐全的组件
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