Grs-M

GRS-M产品是152mm及以上目标直径的高容量“滴入”可旋转磁子,目标长度最高为2m,在垂直或水平方向上。

尽管能够容纳高目标负载,但GRS-M所需的空间由于GENCOA专利旋转驱动系统而减小。为了充分利用紧凑的性质,GRS-M非常适合垂直显示器或水平的内涂层系统。

当与主动阳极结合使用时,产生了更高的速率,质量氧化物和ITO层。

优点

  • 目标安装和双螺钉目标固定的双密封
  • 独特的专利驱动系统提供紧凑而高容量的最终区块设计
  • 高水流(60 l/min)
  • 真空密封的市场领先完整性 - 优于5x10-8MBAR L/s旋转下的泄漏率
  • 利用Gencoa的高性能磁力,包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选择
  • 低挠度磁铁杆支撑管
  • 可以将活性阳极纳入双重配置,以使高密度,低缺陷和低应力层
  • 可靠操作的独特密封设计使其与其他竞争对手区分开
  • 在狭窄的空间中高均匀性,距端屏外边缘到赛车轨道107毫米
  • 可以与Gencoa气棒,活动阳极,Optix和Speedflo一起使用

主要特征

  • 最多可能长2m的目标,取决于重量和方向,具体取决于重量
  • 法兰安装掉进一个室开口
  • Ø152mm目标的住宿
  • 1英寸ID快速释放水连接用于高流量
  • 具有RS-485接口和可能集成的DC电动机驱动器
  • 电源连接:DC通过7/16或AC/DC通过Harting
  • 运行速度至15rpm
  • 单个或双单元可以安装在单法兰板上
  • 完整的液滴组件可提供活性阳极,多区域气体输送杆和驱动/水监控

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