GRS-M.

GRS-M产品是一个高容量的“掉入”可旋转磁控管，用于目标直径为152mm，更高，垂直或水平方向的目标长度高达2m。

虽然能够容纳高目标载荷，但由于GencoA获得专利旋转驱动系统，GRS-M所需的空间减少。为了充分利用紧凑的性质，因此GRS-M是理想的垂直显示器涂料或水平的在线涂层系统。

当与有源阳极结合时，产生更高的速率和质量氧化物和ITO层。

好处

• 双密封件用于目标安装和双螺钉目标固定
• 独特的专利驱动系统提供紧凑且高容量的端块设计
• 水流量高（60 L / min）
• 市场领先的真空密封完整性 - 优于5x10^-8mbar l / s他在旋转下泄漏率
• 利用Gencoa的高性能磁性，包括平衡，不平衡，高强度和DLIM选项
• 低偏转磁铁杆支撑管
• 可以在双构型中纳入有源阳极，以获得更高的密度，低缺陷和低应力层
• 独特的密封设计可用于可靠操作，将其与其他竞争对手相结合
• 密闭空间的高均匀性，距离齿轮块外边缘107mm
• 可与Gencoa气体棒，活性阳极，oldix和speedflo一起使用

主要特点

• 最高可达2米的靶，取决于重量和取向，取决于重量
• 法兰安装在腔室开口中
• Ø152mm的住宿目标
• 1“ID快速释放水连接以获得高流量
• 直流电机驱动器，具有RS-485接口和可能的PLC集成
• 电源连接：通过7/16或AC / DC通过HARTING进行DC
• 运营速度高达15rpm
• 单个或双单元可安装在单个法兰板上
• 具有有源阳极，多区气体输送杆和驱动/水监测的完整替换组件

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