GRS-C.

GRS-C是悬臂式可旋转的磁控管，通过GencoA结合了高承载和动力输送。GRS-C用于水平滚筒式卷筒纸机，其端块位于腔室侧壁外部，并且腔室内旋转的目标。

GRS-C紧凑的性质和不同的目标直径允许多个源位于滚筒周围。

其独特的设计在可靠的溅射过程中提供了优异的效果。磁阵角度可以通过手动曲柄或步进电机外部设定。

尽管其尺寸紧凑，但GRS-C可与高达2.4米的目标组装，并且是防振和稳健的。其冷却和电力容量与市场上最大的悬臂式可旋转磁控磁控符合。

好处

• 可以配有非专有目标
• 双密封件用于目标安装和双螺钉目标夹紧
• 高水流
• 市场领先真空完整性真空密封 - 优于5x10^-8MBAR L / S他在旋转下泄漏
• 用于驱动监控的真空密封件和旋转编码器的泄漏检查端口
• 易于维护
• 采用Gencoa的高性能磁性，包括平衡，不平衡，高强度和DLIM选项
• 低偏转磁铁杆支撑管
• 独特的密封设计可用于可靠操作，将其与其他竞争对手相结合
• 高电流能力
• 可以与Gencoa气体棒，活性阳极，optix和speedflo一起使用
• 可以在不破坏水密封或任何拆卸 - 手动或电动机驱动的情况下原位进行阵列角度定位

主要特征

• 目标长度高达1.2米，为水平悬臂，出站支持高达2.4米
• 港口外部安装在室外
• 住宿Ø90mm，Ø100mm，Ø125mm＆ø152-165mm的目标
• ¾“高流量的ID水连接
• 直流电机驱动器，具有RS-485接口和可能的PLC集成
• 高电流HARTING连接
• 手动或电动阵列定位多个基板位置或目标清洁
• 运营速度高达15rpm

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