GRS-C

GRS-C是Gencoa公司生产的悬臂安装可旋转磁控管,它结合了高承载能力和功率传输。GRS-C适用于水平滚筒式卷筒纸涂布机,其端块位于腔室侧壁外部,目标在腔室内旋转。

GRS-C紧凑的特性和不同的目标直径允许多个源位于转鼓周围。

其独特的设计解决了可靠的溅射工艺交付的关键点,并取得了优异的效果。磁性阵列角度可通过手动曲柄或步进电机进行外部设置。

尽管GRS-C尺寸紧凑,但其可装配高达2.4m的目标,且具有防震性和坚固性。其冷却和功率容量与市场上最大的悬臂式旋转磁控管相匹配。

优势

  • 可安装非专有目标
  • 用于目标安装的双密封件和用于目标夹紧的双螺钉
  • 高水流
  • 真空密封的市场领先真空完整性–优于5x10-8mbar l/s旋转时的He泄漏率
  • 用于真空密封件的泄漏检查端口和用于驱动监控的旋转编码器
  • 易于维护
  • 利用Gencoa的高性能磁性,包括平衡、不平衡、高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁条支撑管
  • 独特的密封设计,运行可靠,使其区别于其他竞争对手
  • 大电流容量
  • 可与Gencoa气体棒、活性阳极、Optix和Speedflo一起使用
  • 阵列角度定位可在不破坏水封或任何拆卸的情况下就地执行-手动或电机驱动

主要特征

  • 作为水平悬臂,目标长度不超过1.2米,带有向外支撑,目标长度不超过2.4米
  • 端口安装在腔室外部
  • Ø90mm、Ø100mm、Ø125mm和Ø152-165mm目标的可容纳性
  • ¾“ID高流量水接头
  • 带有RS-485接口和可能的PLC集成的直流电机驱动
  • 大电流哈丁连接
  • 手动或电动阵列定位,用于多基板定位或目标清洁
  • 操作速度高达15转/分

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