GRS-C

GRS-C是由Gencoa公司设计的悬臂式旋转磁控管,它结合了高承载和功率传递。GRS-C适用于水平滚筒式腹板涂布机,其端块位于炉膛侧壁外,目标在炉膛内旋转。

GRS-C的紧凑特性和目标直径的变化允许多个源位于鼓周围。

其独特的设计解决了溅射过程可靠交付的关键问题,取得了优异的效果。磁阵列角度可以通过手动曲柄或步进电机外部设置。

尽管GRS-C体积紧凑,但它可以与高达2.4米的目标组装,并且具有抗振性和坚固性。它的冷却和电力能力可与市场上最大的悬臂式旋转磁控管相媲美。

优势

  • 可以配备非专有目标吗
  • 双密封目标安装和双螺钉目标夹紧
  • 高水流
  • 市场领先的真空完整性真空密封-优于5x10-8旋转状态下的泄漏率
  • 用于驱动监控的真空密封和旋转编码器的泄漏检查端口
  • 易于维护
  • 利用Gencoa的高性能磁性包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁棒支撑管
  • 独特的密封设计,可靠的运行使其有别于其他竞争对手
  • 高电流容量
  • 能否与Gencoa气体棒、有源阳极、Optix和Speedflo配合使用
  • 阵列角度定位可以在现场进行,无需打破水封或任何拆卸-手动或电机驱动

关键特性

  • 目标长度可达1.2米作为水平悬臂,并可达2.4米与外支撑
  • 端口安装在腔室外部
  • Ø90mm, Ø100mm, Ø125mm和Ø152-165mm的目标
  • 3 / 4”ID水连接用于高流量
  • 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
  • 大电流Harting连接
  • 手动或电动阵列定位用于多个基板位置或目标清洗
  • 运行速度高达15RPM

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