GRS-C.

GRS-C是悬臂式可旋转的磁控管,通过GencoA结合了高承载和动力输送。GRS-C用于水平滚筒式卷筒纸机,其端块位于腔室侧壁外部,并且腔室内旋转的目标。

GRS-C紧凑的性质和不同的目标直径允许多个源位于滚筒周围。

其独特的设计在可靠的溅射过程中提供了优异的效果。磁阵角度可以通过手动曲柄或步进电机外部设定。

尽管其尺寸紧凑,但GRS-C可与高达2.4米的目标组装,并且是防振和稳健的。其冷却和电力容量与市场上最大的悬臂式可旋转磁控磁控符合。

好处

  • 可以配有非专有目标
  • 双密封件用于目标安装和双螺钉目标夹紧
  • 高水流
  • 市场领先真空完整性真空密封 - 优于5x10-8MBAR L / S他在旋转下泄漏
  • 用于驱动监控的真空密封件和旋转编码器的泄漏检查端口
  • 易于维护
  • 采用Gencoa的高性能磁性,包括平衡,不平衡,高强度和DLIM选项
  • 低偏转磁铁杆支撑管
  • 独特的密封设计可用于可靠操作,将其与其他竞争对手相结合
  • 高电流能力
  • 可以与Gencoa气体棒,活性阳极,optix和speedflo一起使用
  • 可以在不破坏水密封或任何拆卸 - 手动或电动机驱动的情况下原位进行阵列角度定位

主要特征

  • 目标长度高达1.2米,为水平悬臂,出站支持高达2.4米
  • 港口外部安装在室外
  • 住宿Ø90mm,Ø100mm,Ø125mm&ø152-165mm的目标
  • ¾“高流量的ID水连接
  • 直流电机驱动器,具有RS-485接口和可能的PLC集成
  • 高电流HARTING连接
  • 手动或电动阵列定位多个基板位置或目标清洁
  • 运营速度高达15rpm

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