GRS-C

GRS-C是由Gencoa公司设计的悬臂式旋转磁控管，它结合了高承载和功率传递。GRS-C适用于水平滚筒式腹板涂布机，其端块位于炉膛侧壁外，目标在炉膛内旋转。

GRS-C的紧凑特性和目标直径的变化允许多个源位于鼓周围。

其独特的设计解决了溅射过程可靠交付的关键问题，取得了优异的效果。磁阵列角度可以通过手动曲柄或步进电机外部设置。

尽管GRS-C体积紧凑，但它可以与高达2.4米的目标组装，并且具有抗振性和坚固性。它的冷却和电力能力可与市场上最大的悬臂式旋转磁控管相媲美。

优势

• 可以配备非专有目标吗
• 双密封目标安装和双螺钉目标夹紧
• 高水流
• 市场领先的真空完整性真空密封-优于5x10^－8旋转状态下的泄漏率
• 用于驱动监控的真空密封和旋转编码器的泄漏检查端口
• 易于维护
• 利用Gencoa的高性能磁性包括平衡，不平衡，高强度和DLIM选项
• 低偏转磁棒支撑管
• 独特的密封设计，可靠的运行使其有别于其他竞争对手
• 高电流容量
• 能否与Gencoa气体棒、有源阳极、Optix和Speedflo配合使用
• 阵列角度定位可以在现场进行，无需打破水封或任何拆卸-手动或电机驱动

关键特性

• 目标长度可达1.2米作为水平悬臂，并可达2.4米与外支撑
• 端口安装在腔室外部
• Ø90mm， Ø100mm， Ø125mm和Ø152-165mm的目标
• 3 / 4”ID水连接用于高流量
• 直流电机驱动与RS-485接口和可能的PLC集成
• 大电流Harting连接
• 手动或电动阵列定位用于多个基板位置或目标清洗
• 运行速度高达15RPM

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