积液细胞

脉冲裂解液池是Nano4Energy和Gencoa合作开发的,是一种结合硒化/硫化的单叠溅射创新解决方案。

该工艺中包含脉冲射流池,使得金属溅射时可以引入诸如硒和硫等材料,从而使Se和S在应用领域(如光伏太阳能电池(CIGS工艺))的可控注入和分散。

通过将渗出池与Speedflo结合使用,可以通过过程中的传感器输入实现高度反馈控制。

关键特性

  • 气体精密控制
  • 反应灵敏、快速主动的阀门
  • 使用Speedflo的动态反馈控制
  • 主动可重复反馈控制
  • 气相注入和分散

应用领域包括CIGS、用于屏障层的单体蒸汽和用于OLED的有机蒸汽。

关于脉冲裂解液细胞的更多信息可以在Gencoa的9月版上找到技术为中心

SeS传感器

Gencoa开发了一种安装在真空室壁上的方便传感器,专门用于测量真空室内Se或S的水平。它是一种化学类型的传感器,当Se水平在腔内变化时提供电压变化。

硒传感器比石英晶体监测器更灵敏和可靠地检测硒输送的变化。

该传感器可用于通过Gencoa Speedflo控制器或自己的PLC /加热器控制器反馈控制的任何过程中的硒含量。

Speedflo控制器通过PLC、OPC服务器或窗口界面显示信号和控制传感器功能。反馈模式也可通过Se交付源自动调节Se在一定水平。所使用的硒源可以是Gencoa高速脉冲积液细胞PEC,或通过使用带阀的积液细胞,或通过温度反馈控制非带阀的细胞-较慢速度的硒或S调节。

优势

  • 化学传感器-直接测量化学浓度的硒或硫
  • 与其他方法相比,成本更低
  • 不突出,附着于室壁
  • 输出电压,用于阀气源的快速反馈控制,如Gencoa PEC
  • 集成传感器和反馈控制包,可用于闭环控制

画廊

下载

产品宣传册

下载Gencoa最新的PDF版本产品宣传册