积液细胞

脉冲裂解器活力细胞是纳米4Energy和GencoA之间的协作发育,是单堆溅射的创新解决方案,包括硒化/硫化。

将脉冲的积液电池包含在该过程中使得能够在金属的溅射期间引入诸如硒和硫的材料,允许在诸如PV太阳能电池(CIGS工艺)的应用领域的SE和S的受控注射和分散。

通过使用与SpeedFlo结合使用的流入单元,可以通过从过程内的传感器的输入来实现高度的反馈控制。

主要特征

  • 精确控制气体
  • 响应和快速活性阀门
  • 使用speedflo的动态反馈控制
  • 有源可重复的反馈控制
  • 气相注射和分散

应用领域包括CIGS,用于OLED的阻挡层和有机蒸汽的单体蒸汽。

有关脉冲裂解器积液细胞的更多信息,可以在Cencoa的9月版本中找到技术焦点

SES传感器

GencoA开发了一种安装在真空室壁上的方便传感器,专门用于测量真空室内的SE或S的水平。它是一种化学式传感器,其提供电压变化,因为SE水平在腔室内变化。

硒传感器比传感硒传递的变化更敏感,并且比石英晶监视器更敏感且可靠。

传感器可用于通过Gencoa SpeedFlo控制器或自己的PLC /加热器控制器反馈腔室中SE内容的反馈控制。

SpeedFLO控制器与PLC,OPC服务器或窗口接口接口,以显示信号并控制传感器功能。反馈模式也可通过SE传递源提供,以在一定级别自动调节SE。所用的SE源可以是GencoA高速脉冲积液电池PEC,或通过使用阀型活性电池,或通过温度反馈控制 - 较慢的速度SE或S调节。

好处

  • 化学传感器 - 直接测量硒或硫的化学浓度
  • 与其他方法相比,成本较低
  • 非突兀,附在腔室墙上
  • 输出阀蒸气源的快速反馈控制的电压。Gencoa PEC.
  • 可用于闭环控制的集成传感器和反馈控制包

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接下来的活动

  • 2021年6月9日- IOP等离子体表面和薄膜会议2021
  • 2021年6月14日至18日- Hipims 2021.
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