积液细胞
脉冲裂解液池是Nano4Energy和Gencoa合作开发的，是一种结合硒化/硫化的单叠溅射创新解决方案。
该工艺中包含脉冲射流池，使得金属溅射时可以引入诸如硒和硫等材料，从而使Se和S在应用领域(如光伏太阳能电池(CIGS工艺))的可控注入和分散。
通过将渗出池与Speedflo结合使用，可以通过过程中的传感器输入实现高度反馈控制。
关键特性
- 气体精密控制
- 反应灵敏、快速主动的阀门
- 使用Speedflo的动态反馈控制
- 主动可重复反馈控制
- 气相注入和分散
应用领域包括CIGS、用于屏障层的单体蒸汽和用于OLED的有机蒸汽。
关于脉冲裂解液细胞的更多信息可以在Gencoa的9月版上找到技术为中心．
SeS传感器
Gencoa开发了一种安装在真空室壁上的方便传感器，专门用于测量真空室内Se或S的水平。它是一种化学类型的传感器，当Se水平在腔内变化时提供电压变化。
硒传感器比石英晶体监测器更灵敏和可靠地检测硒输送的变化。
该传感器可用于通过Gencoa Speedflo控制器或自己的PLC /加热器控制器反馈控制的任何过程中的硒含量。
Speedflo控制器通过PLC、OPC服务器或窗口界面显示信号和控制传感器功能。反馈模式也可通过Se交付源自动调节Se在一定水平。所使用的硒源可以是Gencoa高速脉冲积液细胞PEC，或通过使用带阀的积液细胞，或通过温度反馈控制非带阀的细胞-较慢速度的硒或S调节。
优势
- 化学传感器-直接测量化学浓度的硒或硫
- 与其他方法相比，成本更低
- 不突出，附着于室壁
- 输出电压，用于阀气源的快速反馈控制，如Gencoa PEC
- 集成传感器和反馈控制包，可用于闭环控制
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