积液细胞

脉冲饼干积液细胞是纳米4energy和Gencoa之间的协作发展,是单堆栈溅射,结合硒化/硫化的创新解决方案。

将脉冲积液细胞纳入该过程,使硒和硫等材料在金属的溅射过程中可以引入,从而使SE和S在诸如PV太阳能电池(CIGS Processes)等应用领域中受控注射和SE分散。

通过将积液单元与SpeedFlo结合使用,可以通过在过程中的传感器输入来实现高度的反馈控制。

主要特征

  • 气体的精确控制
  • 响应式和快速活动阀
  • 使用speedflo的动态反馈控制
  • 主动可重复的反馈控制
  • 蒸气期注入和分散

应用领域包括CIGS,屏障层的单体蒸气以及OLED的有机蒸气。

有关脉冲饼干积液单元的更多信息,请参见Gencoa的9月版技术重点

SES传感器

Gencoa开发了一个方便的传感器,该传感器安装在真空室墙上,专门测量真空室内的SE或S水平。它是一种化学型传感器,随着腔室内的SE水平的变化,可以提供电压变化。

硒传感器比石英晶体显示器更敏感和可靠,以感知SE递送的变化。

该传感器可用于通过GENCOA SPEEDFLO控制器或自己的PLC /加热器控制器对腔室中SE内容的反馈控制的任何过程。

SpeedFlo控制器与PLC,OPC服务器或窗口接口接口以显示信号并控制传感器功能。反馈模式也可以通过SE递送源可用,可以在特定级别自动调节SE。所使用的SE源可以是Gencoa高速脉冲积液细胞PEC,或通过使用瓣膜积液电池或通过温度反馈控制 - 速度较慢的SE或S调节来使用瓣膜积液电池。

优点

  • 化学传感器 - 直接测量硒或硫的化学浓度
  • 与其他方法相比,成本较低
  • 无引人注目的,附着在腔室墙上
  • 输出电压,用于快速反馈控制阀蒸气源,例如Gencoa PEC
  • 集成传感器和反馈控制包,可用于闭环控制

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Gencoa的主要设施位于南利物浦。单击以获取说明>