积液细胞
脉冲饼干积液细胞是纳米4energy和Gencoa之间的协作发展，是单堆栈溅射，结合硒化/硫化的创新解决方案。
将脉冲积液细胞纳入该过程，使硒和硫等材料在金属的溅射过程中可以引入，从而使SE和S在诸如PV太阳能电池（CIGS Processes）等应用领域中受控注射和SE分散。
通过将积液单元与SpeedFlo结合使用，可以通过在过程中的传感器输入来实现高度的反馈控制。
主要特征
- 气体的精确控制
- 响应式和快速活动阀
- 使用speedflo的动态反馈控制
- 主动可重复的反馈控制
- 蒸气期注入和分散
应用领域包括CIGS，屏障层的单体蒸气以及OLED的有机蒸气。
有关脉冲饼干积液单元的更多信息，请参见Gencoa的9月版技术重点。
SES传感器
Gencoa开发了一个方便的传感器，该传感器安装在真空室墙上，专门测量真空室内的SE或S水平。它是一种化学型传感器，随着腔室内的SE水平的变化，可以提供电压变化。
硒传感器比石英晶体显示器更敏感和可靠，以感知SE递送的变化。
该传感器可用于通过GENCOA SPEEDFLO控制器或自己的PLC /加热器控制器对腔室中SE内容的反馈控制的任何过程。
SpeedFlo控制器与PLC，OPC服务器或窗口接口接口以显示信号并控制传感器功能。反馈模式也可以通过SE递送源可用，可以在特定级别自动调节SE。所使用的SE源可以是Gencoa高速脉冲积液细胞PEC，或通过使用瓣膜积液电池或通过温度反馈控制 - 速度较慢的SE或S调节来使用瓣膜积液电池。
优点
- 化学传感器 - 直接测量硒或硫的化学浓度
- 与其他方法相比，成本较低
- 无引人注目的，附着在腔室墙上
- 输出电压，用于快速反馈控制阀蒸气源，例如Gencoa PEC
- 集成传感器和反馈控制包，可用于闭环控制
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