双矩形

Gencoa双(或双)磁子结合了所有的工艺和设计专业知识,实现了一个集成包,确保“drop-in”最佳操作。

典型的集成双溅射阴极组件具有以下特点:

  • 具有非对称磁性设计的两个磁控管
  • 整体暗空间屏蔽(双阴极交替,作为阳极和阴极)
  • 水冷暗空间屏蔽和后安装板(当交流电源应用于双配置时,屏蔽的冷却是推荐的-尤其当涂塑网)
  • 综合气体棒(扇区数量和设计取决于阴极尺寸)
  • 等离子体放电的光纤监测(1或3区或可以排除,如果使用目标电压反馈气体控制)
  • Speedflo反应气体控制器

所有这些都是无故障高速率反应性沉积介质材料的必要条件。双阴极也可用于反应性或非反应性导电材料的沉积——在这种情况下,电漂浮的黑暗空间不是必要的。

双溅射阴极的安装方式是灵活的,最常见的类型悬臂安装web涂层或跌落,溅射下来的建筑玻璃涂层。Gencoa将提供一个定制的3D模型的整个组装,便于集成到客户的整体系统方案。

越来越多的选择

•内部
•外部
•垫片
•悬臂

双阴极非常适合使用反应工艺的高速率沉积,Gencoa可以为使用Gencoa的反应工艺提供现场或远程工艺调整Speedflo反应气体控制器。这确保了对您的材料的迟滞曲线和最高的沉积速率的过程的鲁棒控制。要了解金科的Speedflo系列产品参见Speedflo页面。

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