双矩形

Gencoa双(或双)磁子结合了所有的工艺和设计专业知识,实现了一个集成包,确保“滴入”最佳运行。

典型的集成双溅射阴极组件具有以下特点:

  • 两个不对称磁的磁控管
  • 整体暗空间屏蔽(双阴极靶交替,作为阳极和阴极)
  • 水冷暗空间屏蔽和后安装板(双配置交流电源时建议屏蔽冷却-尤其在涂覆塑料网时尤为重要)
  • 集成气体棒(扇区的数量和设计取决于阴极的大小)
  • 等离子体放电的光纤监测(1或3区或可排除,如果使用目标电压反馈气体控制)
  • Speedflo活性气体控制器

所有这些都是无故障、高速率反应沉积介质材料所必需的。双阴极也可用于导电材料的反应性或非反应性沉积——在这种情况下,电漂浮的黑暗空间不是必要的。

双溅射阴极的安装方式是灵活的,最常见的类型是悬臂式安装的web涂层或落在,溅射下来的建筑玻璃涂层。Gencoa将提供整个组装的定制3D模型,便于集成到客户的整体系统方案中。

越来越多的选择

•内部
•外部
•垫片
•悬臂

双阴极非常适合使用反应过程的高速率沉积,Gencoa可以提供现场或远程过程调谐使用Gencoa的反应过程Speedflo活性气体控制器.这确保了对材料高滞后曲线和最高沉积速率的过程的鲁棒控制。要了解Gencoa的Speedflo系列产品,请参阅Speedflo页面。

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