双矩形

Gencoa双(或双)磁子结合了所有的过程和设计专业知识,实现了一个集成包,确保“插入式”最佳操作。

典型的集成双溅射阴极组件具有以下特点:

  • 非对称磁设计的两个磁控管
  • 整体式暗空间屏蔽(目标双阴极交替,作为正极和阴极)
  • 水冷暗空间屏蔽和后安装板(当交流电源应用于双配置时,建议屏蔽的冷却-尤其重要的涂层塑料网)
  • 集成气体棒(扇区数量和设计取决于阴极尺寸)
  • 光纤监测等离子体放电(1或3区或可以排除,如果使用目标电压反馈气体控制)
  • Speedflo反应性气体控制器

这些都是电介质材料无故障高活性沉积所必需的。双阴极也可以用于导电材料的反应性或非反应性沉积——在这种情况下,电漂浮的黑暗空间是不必要的。

双溅射阴极的安装方式是灵活的,最常见的悬臂式安装web涂层或滴入,溅射下来的建筑玻璃涂层。Gencoa将提供整个装配的定制3D模型,便于集成到客户的整体系统方案中。

越来越多的选择

•内部
•外部
•垫片
•悬臂

双阴极非常适合使用反应过程的高速率沉积,Gencoa可以提供现场或远程过程调整使用Gencoa的反应过程Speedflo反应性气体控制器.这确保了对您的材料的高滞后曲线和最高沉积率的过程的强大控制。要了解金科的Speedflo系列产品,请参阅Speedflo页面。

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