圆形磁控管

Gencoa提供全方位的圆形磁控管,适用于从研发到半导体生产的应用。广泛的配置选择可为实际流程的挑战性需求提供解决方案。

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第三代高压电源,用于2“至5”目标直径,标准配置有内部气体注入、间接或直接目标水冷却和±45°倾斜调整。

标准通告

对于6“-16”的目标直径,Gencoa提供了圆形磁控管的既定设计,适用于更大面积的涂层。

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通过使用电机驱动的动态等离子体扫描实现高目标使用率的溅射层高速沉积的独特且强大的工具。

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独特的Vtech磁控管允许应用不同的磁场特性。可用于2英寸至6英寸的目标直径。

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Gencoa的主要设施位于利物浦南部。点击查看方向>