圆形磁控管

Gencoa提供一系列的圆形磁控管,以满足从研发到半导体生产的应用。广泛的配置选择导致解决方案的挑战性需求的实际过程。

rayben

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第三代高压电源适用于2“至5”目标直径,标准配置为内部气体注入、间接或直接目标水冷却和±45°倾斜调节。

标准圆形

对于直径为6“-16”的靶,Gencoa提供了一种圆形磁控管的既定设计,适用于更大面积的涂层。

raybet12

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这是一个独特而强大的工具,用于高速沉积溅射层,目标使用率高,采用电机驱动的动态等离子扫描。

rayapp3

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独特的Vtech磁控管允许应用不同的磁场特性。可用于2“至6”的目标直径。

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