圆形磁控管

Gencoa提供了一系列圆形磁控蛋白,可用于从研发到半导体生产的应用。各种各样的配置可为实现真实过程的挑战性需求提供解决方案。

rayben

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第三代HV源,用于2“至5”目标直径,内部气体注入,间接或直接目标水冷却,并标准±45°倾斜度调节。

GENCOA标准圆形磁控管

标准圆形

对于6“ -16”的目标直径,Gencoa提供了固定的圆形磁控管设计,适用于涂层较大的区域。

raybet12

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通过使用电动机驱动的动态等离子体扫描实现的高速溅射层高速沉积的独特而强大的工具。

rayapp3

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唯一的VTECH磁控管允许应用磁场特性的变化。可用于2“至6”的目标直径。

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接下来的活动

  • 2022年8月21日至26日-IOP CMD-29
  • 2022年9月11日至16日-22届国际真空大会
  • 2022年9月11日至14日- 第13届国际热等局紧迫会议
  • 2022年9月12日至15日- 等离子体表面工程
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