平衡与不平衡

磁控管通常被归类为“平衡”或“不平衡”。常规的磁控管通常是平衡类型的。电子从磁陷阱中逸出的能力取决于目标上方等离子体中的空点的位置。如果零点高于目标上方,则电子逃脱的可能性很小,磁控管是平衡的。在这种情况下,底物上有低离子轰击(假设底物位于空点上方)。如果零点靠近目标表面,则电子可以更容易逃脱,并且磁铁不平衡。不平衡的设计可以与沉积同时产生对薄膜的高离子轰击。

窗口和避难带是第一个正式识别和分类不平衡磁控管的人(请参见下图)。类型1是一种平衡的设计,其特征是延伸到目标表面的开放线线。2型是一种不平衡的设计,其特征是限制在目标表面上方的闭合线线。

平衡和不平衡的磁铁

资料来源:B Window和N. Savvides,J。Vac。科学。技术。A4(2),196(1986)

平衡的矩形磁控管

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