平衡和不平衡

磁控丝控丝通常被归类为“平衡”或“不平衡”。常规磁控管通常是平衡型。电子从磁阱中逸出的能力由目标上方的等离子体中的零点的位置确定。如果零点高于目标,则几乎没有电子逸出的机会,磁控管平衡。在这种情况下,基板上存在低离子轰击(假设基板位于零点上方)。如果空点接近目标表面,则电子可以更容易地逸出,并且磁控管不平衡。不平衡设计可以在沉积的同时产生薄膜的高离子轰击。

窗口和Savvides是第一个正式识别和分类不平衡磁控管的人(见下图)。类型1是平衡设计,其特征在于延伸超过目标表面的开放场线。类型2是不平衡的设计,其特征在于封闭的场线,该线条限制在目标表面上方。



资料来源:B窗口和N. Savvides,J.Vav。SCI。技术。A4(2),196(1986)

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