3 g的圆形

Gencoa的第三代小型圆形磁控管——目标直径为2”至5”——设计用于低压范围,包括±45°倾斜调节、气体喷射和一个用于直流、直流脉冲、RF和HIPIMS工艺的后通用箱作为标准。

该源可以与各种和机械选项,导致性能优势适用于不同的应用,并构建与直流,射频,脉冲直流和HiPIMS电源可靠地工作。

关键特性

  • 低压溅射(106到102托)
  • 最小的足迹
  • ±45º倾斜角度调整(1°精度)
  • 标准目标大小
  • 高产量(HY)磁性可用于4”和5”目标直径
  • 内部气体喷射为标准
  • 后方多功能箱作为射频和HIPIMS的标准
  • 易于更换靶材和选择靶材厚度(1-6mm)
  • 高强度磁性材料的溅射
  • 间接或直接目标冷却(预配置)

机械的选择

Gencoa圆形磁控管具有广泛的机械选择。所有磁控管可用于内部或外部安装,有以下附加选项:手动或气动百叶窗,烟囱,壁挂馈通,隐藏和水冷阳极。

下表显示了3G环形磁控管的不同选择,以及包括的每个机械选项。点击PDF图标下载所需目标尺寸的尺寸图纸。

倾斜 注气 工具盒 2” 3” 4”
3 g 内部
3克/ 内部
3 g b 内部
3 g c 内部
3 g e 外部

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