3G通知

Gencoa的小圆形磁控管第三代范围 - 在2" 目标直径到5" 可用 - 被设计在低压力范围内操作,并且包括±45°的倾斜调整,气体注入和DC,DC-后部实用盒脉冲式的,RF和HIPIMS过程作为标准。

来源可以配备各种磁力和机械的选择,从而导致性能优势拨款用途不同的应用程序,并建立与DC,RF可靠地工作,脉冲直流和的HiPIMS电源。

主要特点

  • 低压溅射(10-6到10-2托)
  • 占用空间最小
  • ±45°倾斜角调整(1°的精度)
  • 标准的目标大小
  • 高收率(HY)磁性可用于4" 和5" 的目标直径
  • 内部气体注入作为标准
  • 后部实用盒作为标准RF和HIPIMS
  • 容易的目标的变化和目标厚度的选择(1-6mm)
  • 高强度磁用于磁材料的溅射
  • 间接或直接冷却目标(预配置)

机械选项

Gencoa圆形磁控管配备了多种可供选择的机械选项。所有磁控管都可以用于内部或外部安装,具有以下附加选项:手动或气动闸板,烟囱,壁挂式馈电引线,隐藏和水冷阳极。

外形尺寸

下表显示3G圆形磁控管的不同的选择,与每个所包括的机械选项。点击PDF图标下载二维图纸所需目标大小。

倾斜 注气 工具箱 2" 3" 4"
3G 内部
3G-A 内部
3G-B 内部
3G-C 内部
3G-E 外部

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Gencoa的主要工厂位于南利物浦。点击方向>